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Paramétrages

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1. WO2012002101 - INTERFÉROMÈTRE ET SPECTROPHOTOMÈTRE À TRANSFORMÉE DE FOURIER

Numéro de publication WO/2012/002101
Date de publication 05.01.2012
N° de la demande internationale PCT/JP2011/062761
Date du dépôt international 03.06.2011
CIB
G01J 3/45 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
28Etude du spectre
45Spectrométrie par interférence
CPC
G01J 3/4532
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
45Interferometric spectrometry
453by correlation of the amplitudes
4532Devices of compact or symmetric construction
G01J 3/4535
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
45Interferometric spectrometry
453by correlation of the amplitudes
4535Devices with moving mirror
Déposants
  • コニカミノルタホールディングス株式会社 Konica Minolta Holdings, Inc. [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内1-6-1 1-6-1, Marunouchi, Chiyoda-Ku, Tokyo 1000005, JP (AllExceptUS)
  • 原 吉宏 HARA Yoshihiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 矢橋 暁 YAHASHI Akira [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 河野 利夫 KAWANO Toshio [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • 原 吉宏 HARA Yoshihiro; JP
  • 矢橋 暁 YAHASHI Akira; JP
  • 河野 利夫 KAWANO Toshio; JP
Mandataires
  • 佐野 静夫 SANO Shizuo; 大阪府大阪市中央区天満橋京町2-6天満橋八千代ビル別館 Tenmabashi-Yachiyo Bldg. Bekkan 2-6, Tenmabashi-Kyomachi, Chuo-Ku Osaka-Shi, Osaka 5400032, JP
Données relatives à la priorité
2010-14758229.06.2010JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) INTERFEROMETER AND FOURIER TRANSFORMATION SPECTROPHOTOMETER
(FR) INTERFÉROMÈTRE ET SPECTROPHOTOMÈTRE À TRANSFORMÉE DE FOURIER
(JA) 干渉計およびフーリエ変換分光分析装置
Abrégé
(EN)
In a first optical system (10), light from a measurement optical input section (11) is divided at a BS (13) and guided to a moving mirror (15) and a fixed mirror (14). The light obtained by reflection at the moving mirror (15) and the fixed mirror (14) is combined at the BS (13) to form first interference light which is guided to a first optical detector (17). The moving mirror (15) is moved in the direction of the optical axis of the incoming light by means of a drive mechanism (18). An inclination correction section (100) implements drive for the fixed mirror (14) for example, in order to correct the relative inclination of the light reflected by the moving mirror (15) and the light reflected by the fixed mirror (14), said relative inclination being produced by the inclination of the moving mirror (15) during drive implemented by the drive mechanism (18). The drive for the moving mirror (15) implemented by the drive mechanism (18) is resonant drive, and the drive for the fixed mirror (14) implemented by the inclination correction section (100) is non-resonant drive.
(FR)
L'invention concerne un premier système optique (10) où la lumière provenant d'une section (11) d'entrée optique de mesure est divisée au niveau d'un séparateur (13) de faisceau et guidée jusqu'à un miroir mobile (15) et un miroir fixe (14). La lumière obtenue par réflexion sur le miroir mobile (15) et le miroir fixe (14) est combinée au niveau du séparateur (13) de faisceau pour former une première lumière d'interférence qui est guidée jusqu'à un premier détecteur optique (17). Le miroir mobile (15) est déplacé dans la direction de l'axe optique de la lumière incidente au moyen d'un mécanisme (18) d'actionnement. Une section (100) de correction d'inclinaison met en œuvre l'actionnement du miroir fixe (14) afin, par exemple, de corriger l'inclinaison relative de la lumière réfléchie par le miroir mobile (15) et de la lumière réfléchie par le miroir fixe (14), ladite inclinaison relative étant produite par l'inclinaison du miroir mobile (15) pendant l'actionnement mis en œuvre par le mécanisme (18) d'actionnement. L'actionnement du miroir mobile (15) mis en œuvre par le mécanisme (18) d'actionnement est un actionnement résonant, et l'actionnement du miroir fixe (14) mis en œuvre par la section (100) de correction d'inclinaison est un actionnement non résonant.
(JA)
 第1の光学系(10)では、測定光入力部(11)からの光をBS(13)にて分離して移動鏡(15)および固定鏡(14)に導き、移動鏡(15)および固定鏡(14)での各反射光をBS(13)にて合成し、第1の干渉光として第1の光検出器(17)に導く。移動鏡(15)は、駆動機構(18)によって入射光の光軸方向に移動する。傾き補正部(100)は、駆動機構(18)による駆動時の移動鏡(15)の傾きによって生じる、移動鏡(15)での反射光と固定鏡(14)での反射光との相対的な傾きを補正するための駆動を、例えば固定鏡(14)に対して行う。このとき、駆動機構(18)による移動鏡(15)の駆動は、共振駆動であり、傾き補正部(100)による固定鏡(14)に対する駆動は、非共振駆動である。
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