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Paramétrages

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1. WO2012001876 - PROCÉDÉ D'APPARIEMENT DE FORMES, DISPOSITIF DE TRAITEMENT D'IMAGES ET PROGRAMME INFORMATIQUE

Numéro de publication WO/2012/001876
Date de publication 05.01.2012
N° de la demande internationale PCT/JP2011/002991
Date du dépôt international 30.05.2011
CIB
G06T 7/00 2006.01
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
G01B 11/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
G01N 23/225 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
23Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de rayonnement (ondes ou particules), p.ex. rayons X ou neutrons, non couvertes par les groupes G01N3/-G01N17/201
22en mesurant l'émission secondaire de matériaux
225en utilisant des microsondes électroniques ou ioniques
G06T 1/00 2006.01
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
1Traitement de données d'image, d'application générale
H01J 37/22 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
22Dispositifs optiques ou photographiques associés au tube
CPC
G01B 15/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
15Measuring arrangements characterised by the use of wave or particle radiation
G06K 9/3241
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
KRECOGNITION OF DATA; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
9Methods or arrangements for reading or recognising printed or written characters or for recognising patterns, e.g. fingerprints
20Image acquisition
32Aligning or centering of the image pick-up or image-field
3233Determination of region of interest
3241Recognising objects as potential recognition candidates based on visual cues, e.g. shape
G06K 9/6201
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
KRECOGNITION OF DATA; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
9Methods or arrangements for reading or recognising printed or written characters or for recognising patterns, e.g. fingerprints
62Methods or arrangements for recognition using electronic means
6201Matching; Proximity measures
G06K 9/6223
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
KRECOGNITION OF DATA; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
9Methods or arrangements for reading or recognising printed or written characters or for recognising patterns, e.g. fingerprints
62Methods or arrangements for recognition using electronic means
6217Design or setup of recognition systems and techniques; Extraction of features in feature space; Clustering techniques; Blind source separation
6218Clustering techniques
622Non-hierarchical partitioning techniques
6221based on statistics
6223with a fixed number of clusters, e.g. K-means clustering
G06K 9/74
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
KRECOGNITION OF DATA; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
9Methods or arrangements for reading or recognising printed or written characters or for recognising patterns, e.g. fingerprints
74Arrangements for recognition using optical reference masks
G06T 2207/10061
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
10Image acquisition modality
10056Microscopic image
10061from scanning electron microscope
Déposants
  • 株式会社 日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP (AllExceptUS)
  • 牛場 郭介 USHIBA, Hiroyuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 豊田 康隆 TOYODA, Yasutaka [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 安部 雄一 ABE, Yuichi [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 池田 光二 IKEDA, Mitsuji [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • 牛場 郭介 USHIBA, Hiroyuki; JP
  • 豊田 康隆 TOYODA, Yasutaka; JP
  • 安部 雄一 ABE, Yuichi; JP
  • 池田 光二 IKEDA, Mitsuji; JP
Mandataires
  • 井上 学 INOUE, Manabu; 東京都千代田区丸の内一丁目6番1号 株式会社 日立製作所内 c/o HITACHI,LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220, JP
Données relatives à la priorité
2010-15071101.07.2010JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) PATTERN MATCHING METHOD, IMAGE PROCESSING DEVICE, AND COMPUTER PROGRAM
(FR) PROCÉDÉ D'APPARIEMENT DE FORMES, DISPOSITIF DE TRAITEMENT D'IMAGES ET PROGRAMME INFORMATIQUE
(JA) パターンマッチング方法,画像処理装置、及びコンピュータプログラム
Abrégé
(EN)
In order to provide a computer program, an image processing device, and a pattern matching method that perform pattern matching at a high level of accuracy without relying on edge deformation, contrast fluctuations, etc., in one embodiment, the disclosed pattern matching method and device perform pattern matching over an image using a template produced on the basis of the belowmentioned design data. The pattern matching method and device determine the characteristic quantities of the image for an inner region and/or an outer region that are divided by a line that defines the contour of a pattern, and determine positions at which said characteristic quantities satisfy predetermined conditions to be matching positions, matching position candidates, or erroneous matching positions.
(FR)
L'invention concerne un programme informatique, un dispositif de traitement d'images et un procédé d'appariement de formes qui réalisent un appariement de formes à un haut niveau de précision sans recourir à une déformation des bords, à des fluctuations de contraste, etc. Dans un mode de réalisation, le procédé et le dispositif décrits d'appariement de formes réalisent un appariement de formes sur une image à l'aide d'un gabarit produit sur la base des données nominales mentionnées ci-dessous. Le procédé et le dispositif d'appariement de formes déterminent les quantités caractéristiques de l'image pour une région intérieure et / ou une région extérieure qui sont séparées par une ligne définissant le contour d'une forme, et déterminent des positions où lesdites quantités caractéristiques satisfont des conditions prédéterminées comme étant des positions d'appariement, des positions candidates d'appariement ou des positions d'appariement erronées.
(JA)
 本発明は、エッジの変形、或いはコントラストの変動等に依らず、高精度にパターンマッチングを行うパターンマッチング方法,画像処理装置、及びコンピュータプログラムの提供を目的とする。 上記目的を達成するための一態様として、以下に設計データに基づいて形成されたテンプレートを用いて、画像上でパターンマッチングを実行するパターンマッチング方法、或いは装置であって、パターンの輪郭を定義する線分によって、区分けされる内側領域、及び/又は外側領域について、画像の特徴量を求め、当該特徴量が所定の条件を満たした位置をマッチング位置,マッチング位置候補、或いは誤ったマッチング位置と決定するパターンマッチング方法、及び装置を提案する。
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