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Paramétrages

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1. WO2012001642 - PROCEDE DE FONCTIONNALISATION DES VEINES FLUIDIQUES CONTENUES DANS UN DISPOSITIF MICROMECANIQUE, DISPOSITIF MICROMECANIQUE COMPRENANT DES VEINES FONCTIONNALISEES ET SON PROCEDE DE REALISATION

Numéro de publication WO/2012/001642
Date de publication 05.01.2012
N° de la demande internationale PCT/IB2011/052865
Date du dépôt international 29.06.2011
CIB
B81C 1/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
CPROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
CPC
B81B 2201/0214
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
02Sensors
0214Biosensors; Chemical sensors
B81B 2201/058
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
05Microfluidics
058Microfluidics not provided for in B81B2201/051 - B81B2201/054
B81B 2201/06
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
06Bio-MEMS
B81C 1/00206
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
00015for manufacturing microsystems
00206Processes for functionalising a surface, e.g. provide the surface with specific mechanical, chemical or biological properties
B81C 2201/0154
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
2201Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
01in or on a substrate
0101Shaping material; Structuring the bulk substrate or layers on the substrate; Film patterning
0147Film patterning
0154other processes for film patterning not provided for in B81C2201/0149 - B81C2201/015
F04B 19/006
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
19Machines or pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B17/00
006Micropumps
Déposants
  • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES [FR/FR]; 25, rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" F-75015 Paris, FR (AllExceptUS)
  • AGACHE, Vincent [FR/FR]; FR (UsOnly)
  • HOANG, Antoine [FR/FR]; FR (UsOnly)
  • VINET, Françoise [FR/FR]; FR (UsOnly)
Inventeurs
  • AGACHE, Vincent; FR
  • HOANG, Antoine; FR
  • VINET, Françoise; FR
Mandataires
  • RATABOUL, Xavier; CABINET ORES 36, rue de St Pétersbourg F-75008 Paris, FR
Données relatives à la priorité
100270629.06.2010FR
Langue de publication français (FR)
Langue de dépôt français (FR)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR FUNCTIONALISING FLUID LINES CONTAINED IN A MICROMECHANICAL DEVICE, MICROMECHANICAL DEVICE INCLUDING FUNCTIONALISED LINES, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) PROCEDE DE FONCTIONNALISATION DES VEINES FLUIDIQUES CONTENUES DANS UN DISPOSITIF MICROMECANIQUE, DISPOSITIF MICROMECANIQUE COMPRENANT DES VEINES FONCTIONNALISEES ET SON PROCEDE DE REALISATION
Abrégé
(EN)
The present invention relates to a method for functionalising fluid lines (1b) in a micromechanical device, the walls of which include an opaque layer. For this purpose, the invention provides a method for functionalising a micromechanical device provided with a fluid line including a peripheral wall (5) having a surface (2) outside the line and an inner surface (3) defining a space (1b) in which a fluid can circulate, the peripheral wall at least partially including a silicon layer (5a). The method includes the following steps: a) providing a device, the peripheral wall (5) of which at least partially includes a silicon layer (5a) having, at least locally, a thickness (e) of more than 100 nm and less than 200 nm, advantageously of 160 to 180 nm; c) silanising at least the inner surface of the fluid line; d) the localised, selective photo-deprotection on at least the inner surface of the silanised device by exposing the peripheral wall (5) at the point at which said wall has a thickness (e) of more than 100 nm and less than 200 nm, advantageously of 160 to 180 nm.
(FR)
Le but de la présente invention est de fournir un procédé de fonctionnalisation de veines fluidiques (1b) dans un dispositif micromécanique dont les parois comprennent une couche opaque. A cette fin l'invention propose un procédé de fonctionnalisation d'un dispositif micromécanique muni d'une veine fluidique comprenant une paroi périphérique (5) présentant une surface externe (2) à la veine et une surface interne (3) délimitant un espace (1b) dans lequel est susceptible de circuler un fluide, la paroi périphérique comprenant au moins partiellement une couche de silicium (5a). Le procédé comprend les étapes suivantes : a) la mise à disposition d'un dispositif dont la paroi périphérique (5) comprend au moins partiellement une couche de silicium (5a) présentant, au moins localement, une épaisseur (e) comprise entre 100 et 200 nm exclu, avantageusement entre 160 et 180 nm, c) la silanisation d'au moins la surface interne de la veine fluidique, d) la photo déprotection localisée et sélective sur au moins la surface interne du dispositif silanisé par insolation de la paroi périphérique (5) là où elle présente une épaisseur (e) comprise entre 100 et 200 nm exclu, avantageusement entre 160 et 180 nm.
Également publié en tant que
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