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1. (WO2011158927) DISPOSITIF LASER À ULTRAVIOLET
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2011/158927 N° de la demande internationale : PCT/JP2011/063889
Date de publication : 22.12.2011 Date de dépôt international : 17.06.2011
CIB :
G02F 1/37 (2006.01) ,H01S 3/06 (2006.01)
Déposants : TOKUHISA, Akira[JP/JP]; JP (UsOnly)
NIKON CORPORATION[JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331, JP (AllExceptUS)
Inventeurs : TOKUHISA, Akira; JP
Mandataire : NAGAI, Fuyuki; c/o NAGAI & ASSOCIATES, Fukoku Seimei Building, 2-2-2, Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo 1000011, JP
Données relatives à la priorité :
2010-13811517.06.2010JP
Titre (EN) ULTRAVIOLET LASER DEVICE
(FR) DISPOSITIF LASER À ULTRAVIOLET
(JA) 紫外レーザ装置
Abrégé : front page image
(EN) An ultraviolet laser device is provided with a laser beam output unit including an ytterbium-doped fiber optical amplifier, a thulium-doped fiber optical amplifier, and an ytterbium-doped fiber optical amplifier or an erbium-doped fiber optical amplifier which respectively output first to third infrared laser beams, and a wavelength conversion unit including first to third optical lines through which the first to the third infrared laser beams are propagated and outputted as first to third laser beams, and a fourth optical line through which the first to the third laser beams are propagated after being combined. The first optical line wavelength-converts the first infrared laser beam into a predetermined harmonic and generates the predetermined harmonic as the first laser beam, and the fourth optical line includes a first wavelength conversion optical element which generates a previous-stage ultraviolet laser beam by sum frequency generation between the predetermined harmonic and the second laser beam, and a second wavelength conversion optical element which generates an ultraviolet laser beam by sum frequency generation between the previous-stage ultraviolet laser beam and the third laser beam.
(FR) L'invention concerne un dispositif laser à ultraviolet qui comprend une unité de sortie de faisceau laser comprenant un amplificateur optique à fibre dopée à l'ytterbium, un amplificateur optique à fibre dopée au thulium, et un amplificateur optique à fibre dopée à l'ytterbium ou un amplificateur optique à fibre dopée à l'erbium qui émettent respectivement des premier, deuxième et troisième faisceaux laser infrarouges, ainsi qu'une unité de conversion de longueur d'onde qui comprend des première, deuxième et troisième lignes optiques à travers lesquelles les premier, deuxième et troisième faisceaux laser infrarouges se propagent et sont émis sous forme de premier, deuxième et troisième faisceaux laser, et une quatrième ligne optique à travers laquelle les premier, deuxième et troisième faisceaux laser se propagent après avoir été combinés. La première ligne optique convertit en longueur d'onde le premier faisceau laser infrarouge en une harmonique prédéterminée et génère l'harmonique prédéterminée sous forme du premier faisceau laser, tandis que la quatrième ligne optique comprend un premier élément optique de conversion en longueur d'onde qui génère un faisceau laser ultraviolet de stade précédent par génération de fréquence d'addition entre l'harmonique prédéterminée et le deuxième faisceau laser, et un deuxième élément optique de conversion en longueur d'onde qui génère un faisceau laser ultraviolet par génération de fréquence d'addition entre le faisceau laser ultraviolet de stade précédent et le troisième faisceau laser.
(JA)  紫外レーザ装置は、第1~3赤外レーザ光を出力するイットリビウムドープファイバ光増幅器、ツリウムドープファイバ光増幅器、及びイットリビウムドープファイバ光増幅器またはエルビウムドープファイバ光増幅器を含むレーザ光出力部と、第1~3赤外レーザ光が伝播して第1~3レーザ光がそれぞれ出力される第1~3光学系列と、第1~3レーザ光が合波されて伝播する第4光学系列とを含む波長変換部とを備える。第1光学系列は、第1赤外レーザ光を所定の高調波に波長変換して第1レーザ光として発生させ、第4光学系列は、所定の高調波と第2レーザ光との和周波発生により前段紫外レーザ光を発生させる第1の波長変換光学素子と、前段紫外レーザ光と第3レーザ光との和周波発生により紫外レーザ光を発生させる第2の波長変換光学素子とを含む。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)