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1. (WO2011155635) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN FILM EN OXYDE MÉTALLIQUE, FILM EN OXYDE MÉTALLIQUE, ÉLÉMENT UTILISANT LEDIT FILM EN OXYDE MÉTALLIQUE, SUBSTRAT POURVU D'UN FILM EN OXYDE MÉTALLIQUE, ET DISPOSITIF UTILISANT LEDIT SUBSTRAT POURVU D'UN FILM EN OXYDE MÉTALLIQUE

Pub. No.:    WO/2011/155635    International Application No.:    PCT/JP2011/063627
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Thu Jun 09 01:59:59 CEST 2011
IPC: C01G 27/02
C01F 7/02
C01F 17/00
C01G 23/04
C01G 25/02
C03C 17/25
C03C 17/27
H01B 5/14
H01B 13/00
C01B 13/32
Applicants: SUMITOMO METAL MINING CO., LTD.
住友金属鉱山株式会社
YUKINOBU Masaya
行延 雅也
MURAYAMA Yuki
村山 勇樹
NAGANO Takahito
永野 崇仁
OTSUKA Yoshihiro
大塚 良広
Inventors: YUKINOBU Masaya
行延 雅也
MURAYAMA Yuki
村山 勇樹
NAGANO Takahito
永野 崇仁
OTSUKA Yoshihiro
大塚 良広
Title: PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN FILM EN OXYDE MÉTALLIQUE, FILM EN OXYDE MÉTALLIQUE, ÉLÉMENT UTILISANT LEDIT FILM EN OXYDE MÉTALLIQUE, SUBSTRAT POURVU D'UN FILM EN OXYDE MÉTALLIQUE, ET DISPOSITIF UTILISANT LEDIT SUBSTRAT POURVU D'UN FILM EN OXYDE MÉTALLIQUE
Abstract:
Cette invention concerne : un film en oxyde métallique, qui est formé par un procédé de revêtement qui est l'un des procédés de production d'un film en oxyde métallique, et qui possède un bon équilibre entre une excellente transparence et une conductivité électrique élevée, tout en ayant une excellente résistance mécanique de film; et un procédé de production dudit film en oxyde métallique. Plus spécifiquement, cette invention concerne un procédé de production d'un film en oxyde métallique qui comprend : une étape de revêtement qui consiste à former un film de revêtement sur un substrat à l'aide d'un liquide de revêtement apte à former un film en oxyde métallique qui contient divers composés métalliques organiques; une étape de séchage qui consiste à convertir le film de revêtement en un film de revêtement sec; et une étape de chauffage qui consiste à former un film inorganique à partir du film de revêtement sec. Le procédé de production d'un film en oxyde métallique selon l'invention est caractérisé en ce que, dans l'étape de chauffage, le film de revêtement sec qui est principalement constitué de divers composés métalliques organiques est chauffé jusqu'à une température à laquelle au moins la minéralisation des composants des composés métalliques organiques survient, ou à une température supérieure, dans une atmosphère contenant de l'oxygène à une température ne dépassant pas une température qui est inférieure de 10°C au point de rosée, de façon que les composants organiques dans le film de revêtement sec soient éliminés par décomposition thermique et combustion, pour former ainsi une couche fine de particules d'oxyde métallique qui est densément chargée en fines particules d'oxyde métallique qui sont principalement constituées de divers oxydes métalliques.