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1. (WO2011155123) MÉTHODE D'OPTIMISATION DES RÉFÉRENCES POUR LA CLASSIFICATION D'IMAGES D'OBSERVATION ET DISPOSITIF DE CLASSIFICATION D'IMAGES

Pub. No.:    WO/2011/155123    International Application No.:    PCT/JP2011/002661
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Sat May 14 01:59:59 CEST 2011
IPC: G01N 23/225
G06T 1/00
H01L 21/66
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社 日立ハイテクノロジーズ
HIRAI, Takehiro
平井 大博
MIYAKE, Kozo
三宅 孝造
KONISHI, Junko
小西 潤子
Inventors: HIRAI, Takehiro
平井 大博
MIYAKE, Kozo
三宅 孝造
KONISHI, Junko
小西 潤子
Title: MÉTHODE D'OPTIMISATION DES RÉFÉRENCES POUR LA CLASSIFICATION D'IMAGES D'OBSERVATION ET DISPOSITIF DE CLASSIFICATION D'IMAGES
Abstract:
Un premier objectif de la présente invention est de minimiser la charge des opérations MDC lors de la mise en œuvre d'opérations de classification des défauts à la fois automatiques (ADC) et manuelles (MDC). Un second objectif est de prévenir la négligence de défauts d'intérêt (DOI). Le premier objectif est atteint par affichage sous forme graphique des informations de détermination des allocations ADC/MDC qui sont requises lors de la mise en œuvre de l'ADC sélectionnée et de la MDC sélectionnée. Dans ce cas-là, les résultats par catégorie s'affichent également sous forme de matrice. De plus, le taux de DOI négligés est calculé et affiché graphiquement pour chaque seuil de catégorie utilisé dans les catégories de défauts.