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1. (WO2011149000) MÉTHODE DE MESURE DE LA RÉPARTITION D'INDICES DE RÉFRACTION ET APPAREIL DE MESURE DE LA RÉPARTITION D'INDICES DE RÉFRACTION

Pub. No.:    WO/2011/149000    International Application No.:    PCT/JP2011/062041
Publication Date: Fri Dec 02 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Fri May 20 01:59:59 CEST 2011
IPC: G01M 11/02
G01M 11/00
G01N 21/45
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA
SUGIMOTO, Tomohiro
Inventors: SUGIMOTO, Tomohiro
Title: MÉTHODE DE MESURE DE LA RÉPARTITION D'INDICES DE RÉFRACTION ET APPAREIL DE MESURE DE LA RÉPARTITION D'INDICES DE RÉFRACTION
Abstract:
L'invention concerne une méthode comprenant la mesure d'un front d'onde transmis d'un objet à tester par l'introduction d'une lumière de référence dans l'objet à tester disposé dans un milieu ayant un indice de réfraction différent de l'indice de réfraction de l'objet à tester, et le calcul d'une répartition d'indices de réfraction de l'objet à tester au moyen d'un résultat de mesure du front d'onde transmis. L'étape de mesure consiste à mesurer un premier front d'onde transmis pour une première longueur d'onde et un second front d'onde transmis pour une seconde longueur d'onde différente de la première longueur d'onde. L'étape de calcul consiste à calculer la répartition des indices de réfraction de l'objet à tester par l'élimination d'un composant de forme de l'objet à tester au moyen des résultats de mesure du premier et du second front d'onde transmis, et d'un front d'onde transmis d'un objet de référence disposé dans le milieu pour la première et la seconde longueur d'onde. L'objet de référence possède une forme identique à celle de l'objet à tester et une répartition spécifique d'indices de réfraction.