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1. WO2011148548 - APPAREIL POUR TRANSFERT DE PANNEAU PLAT

Numéro de publication WO/2011/148548
Date de publication 01.12.2011
N° de la demande internationale PCT/JP2011/001445
Date du dépôt international 11.03.2011
CIB
B65G 51/03 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
GDISPOSITIFS DE TRANSPORT OU D'EMMAGASINAGE, p.ex. TRANSPORTEURS POUR CHARGEMENT OU BASCULEMENT, SYSTÈMES TRANSPORTEURS POUR MAGASINS OU TRANSPORTEURS PNEUMATIQUES À TUBES
51Transport d'objets par tuyaux ou tubes utilisant l'écoulement ou la pression d'un fluide; Transport d'objets sur une surface plane, p.ex. le fond d'un caniveau, par jets disposés le long de la surface
02Transport des objets par écoulement direct de gaz, p.ex. fiches, feuilles, bas, réceptacles, pièces à usiner
03sur une surface plane ou dans des caniveaux
B65G 49/06 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
GDISPOSITIFS DE TRANSPORT OU D'EMMAGASINAGE, p.ex. TRANSPORTEURS POUR CHARGEMENT OU BASCULEMENT, SYSTÈMES TRANSPORTEURS POUR MAGASINS OU TRANSPORTEURS PNEUMATIQUES À TUBES
49Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs
05pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables
06pour des feuilles fragiles, p.ex. en verre
H01L 21/677 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
CPC
B65G 2249/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
2249Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
02Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
B65G 2249/045
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
2249Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
04Arrangements of vacuum systems or suction cups
045Details of suction cups suction cups
B65G 49/064
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
49Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
05for fragile or damageable materials or articles
06for fragile sheets, e.g. glass
063Transporting devices for sheet glass
064in a horizontal position
B65G 49/065
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
49Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
05for fragile or damageable materials or articles
06for fragile sheets, e.g. glass
063Transporting devices for sheet glass
064in a horizontal position
065supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
H01L 21/67017
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67017Apparatus for fluid treatment
H01L 21/67706
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67703between different workstations
67706Mechanical details, e.g. roller, belt
Déposants
  • シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 神徳千幸 KOHTOKU, Yukihide (UsOnly)
Inventeurs
  • 神徳千幸 KOHTOKU, Yukihide
Mandataires
  • 前田弘 MAEDA, Hiroshi
Données relatives à la priorité
2010-11813724.05.2010JP
Langue de publication Japonais (ja)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) APPARATUS FOR TRANSFERRING FLAT BOARD
(FR) APPAREIL POUR TRANSFERT DE PANNEAU PLAT
(JA) 平板搬送装置
Abrégé
(EN) Disclosed is an apparatus for transferring a flat board, wherein a front region (S1) in the transfer direction, said front region reaching a cassette on a production line (L), a flat board delivery region between the production line and the cassette, and a region where a flat board transfer drive section is installed, said region being disposed between operation positions on the production line, are provided with: an air nozzle (11), which floats and supports a glass substrate (G) by means of an air flow by blowing air (A) to the rear surface of the glass substrate (G); and a duct (16), which is disposed at a distance from the air nozzle (11) such that the floating of the glass substrate (G) is not disturbed, said floating being generated by the air nozzle (11), and which sucks the air (A) blown to the rear surface of the glass substrate (G), and discharges the air to the outside of the production line. Consequently, contamination in the transfer process of the glass substrate (G) can be efficiently eliminated.
(FR) L'invention concerne un appareil pour transférer un panneau plat, dans lequel une région frontale (S1) dans la direction de transfert, ladite région frontale atteignant une cassette sur une ligne de production (L), une région de livraison du panneau plat entre la ligne de production et la cassette, et une région où une section de commande de transfert de panneau plat est installée, ladite région étant disposée entre des positions de marche sur la ligne de production, sont pourvues de : une buse à air (11), qui fait flotter et supporte un substrat de verre (G) au moyen d'un courant d'air en soufflant de l'air (A) à la surface arrière du substrat de verre (G) ; et un conduit (16), qui est disposé à une distance de la buse à air (11) de telle sorte que le flottement du substrat de verre (G) ne soit pas perturbé, ledit flottement étant généré par la buse à air (11), et qui aspire l'air (A) soufflé à la surface arrière du substrat de verre (G), et décharge l'air à l'extérieur de la ligne de production. Par conséquent, la contamination dans le procédé de transfert du substrat de verre (G) peut être éliminée efficacement.
(JA) 製造ライン(L)のカセットに至る搬送方向手前領域(S1)、製造ラインとカセットとの間の平板受渡し領域、及び製造ラインにおける作業ポジション間の平板搬送駆動部設置領域に、ガラス基板(G)裏面にエア(A)を吹き付けてガラス基板(G)をエア流により浮上支持するエアノズル(11)と、エアノズル(11)によるガラス基板(G)浮上を阻害しないようにエアノズル(11)から離間し、ガラス基板(G)裏面に吹き付けられたエア(A)を吸引して製造ライン外に排出するダクト(16)とを設ける。これにより、ガラス基板(G)の搬送過程における汚染を効率良く防止する。
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