(DE) Die aktive Thermosonde und das Verfahren zur kontinuierlichen Messung des Energieeintrags sowie das Verfahren zur Regelung der Temperatur an der Messstelle finden bei der kontinuierlichen Messung des Energieeintrags u.a. bei der Diagnostik und der Regelung von plasmatechnologischen Prozessen Anwendung. Es ist Aufgabe der Erfindung, den Energieeintrag an der Oberfläche der Sonde richtungsabhängig zu messen und unerwünschte Wärmeströme zwischen der Sonde und ihren Zuleitungen und Halterungen zu unterbinden, ohne dass die Messergebnisse der Thermosonde verfälscht werden. Zusätzlich sollen die Schwankungen der Heizleistung während der Regelung minimiert werden. Das Hauptmerkmal dieser Erfindung liegt in der richtungsabhängigen Messung des Energieeintrages unter absoluter Kompensation der Wärmestrahlung, die aus der entgegengesetzten Richtung kommt und nicht zum Messwert beitragen soll. Dazu wird auf der Unter- und Oberseite eines dünnen Trägers je eine geheizte Messfläche aufgebracht und diese geheizten Messflächen sind an jeweils eine getrennte Temperaturregelung angeschlossen, wobei die Temperatur beider geheizter Messflächen auf gleichem Niveau konstant gehalten wird und bei Änderung des Energieeintrages an den Messfläche n die Heizleistung jeweils getrennt reduziert wird. Die Reduzierung der Heizleistung stellt ein Maß für die an dieser Messfläche ankommenden Energie dar und die Energieeinträge auf der Rückseite und der Oberseite der Thermosonde werden getrennt voneinander gemessen.
(EN) The invention relates to an active thermoprobe, to a method for continuous measurement of the energy input and to a method for regulating the temperature at the measuring point, which are used in the continuous measurement of the energy input, inter alia, in diagnostics and in the regulation of plasma technology processes. The aim of the invention is to measure the energy input at the surface of the probe dependent on direction and to prevent unwanted heat flows been the probe and the input lines and mountings thereof, without the measurement results of the thermoprobe being falsified. In addition, the fluctuations in the heat output during regulation are to be minimised. The main feature of the invention is the direction-dependent measurement of the energy input with absolute compensation of the thermal radiation coming from the opposite direction, which is not intended to contribute to the measured value. For that purpose, a heated measuring surface is applied to each of the lower and upper faces of a thin substrate and said heated measuring surfaces are connected to a respective separate temperature control device, wherein the temperature of both heated measuring surfaces is held constant at the same level and upon change in the energy input at the measuring surfaces the respective heat output is separately reduced. The reduction in the heat output is a measure of the energy arriving at said measuring surface and the energy inputs on the rear face and the upper face of the thermoprobe are measured separately from each other.
(FR) La thermosonde active et le procédé permettant de mesurer en continu l'apport d'énergie ainsi que le procédé permettant de régler la température au point de mesure sont utilisés lors de la mesure en continu de l'apport d'énergie, entre autres, lors du diagnostic et du réglage de processus technologiques au plasma. Le but de l'invention est de mesurer l'apport d'énergie sur la surface de la sonde en fonction de la direction et d'empêcher des flux de chaleur indésirables entre la sonde et ses conduits d'alimentation et raccords sans que les résultats de mesure de la thermosonde soient falsifiés. De plus, les fluctuations de la puissance calorifique doivent être réduites à un minimum pendant le réglage. La caractéristique principale de cette invention réside dans la mesure de l'apport d'énergie qui est indépendante de la direction en compensant de manière absolue l'émission de chaleur qui vient de la direction opposée et ne doit pas contribuer à la valeur de mesure. À cet effet, une surface de mesure chauffée est appliquée sur la face inférieur et sur la face supérieur d'un mince support et ces surfaces de mesure chauffées sont raccordées chacune à un réglage de température séparé, la température des deux surfaces de mesure chauffées étant maintenue constante au même niveau et, lors d'un changement de l'apport d'énergie sur les surfaces de mesure, la puissance calorifique est réduite chaque fois séparément. La réduction de la puissance calorifique représente une grandeur pour l'énergie arrivant sur la surface de mesure et les apports d'énergie sont mesurés séparément l'un de l'autre sur la face arrière et sur la face avant de la thermosonde.
