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1. WO2011108215 - DISPOSITIF DE STOCKAGE DE SUBSTRATS

Numéro de publication WO/2011/108215
Date de publication 09.09.2011
N° de la demande internationale PCT/JP2011/000942
Date du dépôt international 21.02.2011
CIB
H01L 21/673 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673utilisant des supports spécialement adaptés
B65D 77/04 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
DRÉCEPTACLES POUR L'EMMAGASINAGE OU LE TRANSPORT D'OBJETS OU DE MATÉRIAUX, p.ex. SACS, TONNEAUX, BOUTEILLES, BOÎTES, BIDONS, CAISSES, BOCAUX, RÉSERVOIRS, TRÉMIES OU CONTENEURS D'EXPÉDITION; ACCESSOIRES OU FERMETURES POUR CES RÉCEPTACLES; ÉLÉMENTS D'EMBALLAGE; PAQUETS
77Paquets réalisés en enfermant des objets ou des matériaux dans des réceptacles préformés, p.ex. des boîtes, des cartons, des sacs ou des sachets
04Objets ou matériaux enfermés dans deux réceptacles ou plus, disposés l'un dans l'autre
B65D 81/20 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
DRÉCEPTACLES POUR L'EMMAGASINAGE OU LE TRANSPORT D'OBJETS OU DE MATÉRIAUX, p.ex. SACS, TONNEAUX, BOUTEILLES, BOÎTES, BIDONS, CAISSES, BOCAUX, RÉSERVOIRS, TRÉMIES OU CONTENEURS D'EXPÉDITION; ACCESSOIRES OU FERMETURES POUR CES RÉCEPTACLES; ÉLÉMENTS D'EMBALLAGE; PAQUETS
81Réceptacles, éléments d'emballage ou paquets pour contenus présentant des problèmes particuliers de stockage ou de transport ou adaptés pour servir à d'autres fins que l'emballage après avoir été vidés de leur contenu
18fournissant une ambiance spécifique pour le contenu, p.ex. température supérieure ou inférieure à la température ambiante
20sous vide ou pression superatmosphérique ou en atmosphère spéciale, p.ex. sous gaz inerte
B65D 85/86 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
DRÉCEPTACLES POUR L'EMMAGASINAGE OU LE TRANSPORT D'OBJETS OU DE MATÉRIAUX, p.ex. SACS, TONNEAUX, BOUTEILLES, BOÎTES, BIDONS, CAISSES, BOCAUX, RÉSERVOIRS, TRÉMIES OU CONTENEURS D'EXPÉDITION; ACCESSOIRES OU FERMETURES POUR CES RÉCEPTACLES; ÉLÉMENTS D'EMBALLAGE; PAQUETS
85Réceptacles, éléments d'emballage ou paquets spécialement adaptés aux objets ou aux matériaux particuliers
86pour des éléments électriques
G03F 1/66 2012.1
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
1Originaux pour la production par voie photomécanique de surfaces texturées, p.ex. masques, photomasques ou réticules; Masques vierges ou pellicules à cet effet; Réceptacles spécialement adaptés à ces originaux; Leur préparation
66Réceptacles spécialement adaptés aux masques, aux masques vierges ou aux pellicules; Leur préparation
CPC
B65D 85/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
85Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
G03F 1/82
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
1Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
68Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
82Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
H01L 21/673
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
H01L 21/67359
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
6735Closed carriers
67359specially adapted for containing masks, reticles or pellicles
H01L 21/67393
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
6735Closed carriers
67389characterised by atmosphere control
67393characterised by the presence of atmosphere modifying elements inside or attached to the closed carrierl
Y10T 137/86035
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
137Fluid handling
8593Systems
85978With pump
86035Combined with fluid receiver
Déposants
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 守屋剛 MORIYA, Tsuyoshi [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • 守屋剛 MORIYA, Tsuyoshi
Mandataires
  • 大山浩明 OHYAMA, Hiroaki
Données relatives à la priorité
2010-04838004.03.2010JP
Langue de publication Japonais (ja)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) SUBSTRATE STORING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE STOCKAGE DE SUBSTRATS
(JA) 基板収納装置
Abrégé
(EN) Foreign substances are effectively prevented from attaching to a stored substrate in accordance with the usage environment. Disclosed is a substrate storing device (100) which is provided with an air supplying section (110) for introducing outside air into the substrate storing device (100), an exhaust section (120) disposed opposite the air supplying section, a substrate mounting plate (140) which is disposed between the air supplying section and the exhaust section and which has a communication hole (142) for connecting the air supplying section and the exhaust section, an air supplying filter (112) disposed on the air supplying section, and a fan (122) which is disposed on the air supplying section or the exhaust section, wherein a mounting hole (150) is detachably attached with at least one or a combination of two or more of the following: a state sensor which detects the state within the substrate storing device (100), a particle charging unit, and a temperature control unit (figure 2).
(FR) La présente invention a pour but d'empêcher efficacement les substances étrangères de se fixer à un substrat stocké en fonction de l'environnement d'utilisation. L'invention concerne donc un dispositif de stockage de substrats (100) pourvu d'une section d'alimentation en air (110) pour y introduire de l'air extérieur, d'une section d'évacuation (120) disposée à l'opposé de la section d'alimentation en air, d'une plaque de montage de substrats (140) disposée entre la section d'alimentation en air et la section d'évacuation et qui comporte un trou de communication (142) pour relier la section d'alimentation en air et la section d'évacuation, d'un filtre d'alimentation en air (112) disposé sur la section d'alimentation en air, et d'un ventilateur (122) disposé sur la section d'alimentation en air ou la section d'évacuation. Un trou de fixation (150) permet d'attacher de façon amovible l'un au moins ou une combinaison d'au moins deux des éléments suivants : un détecteur d'état qui détecte l'état à l'intérieur du dispositif de stockage de substrats (100), une unité de chargement de particules, et une unité de contrôle de la température (figure 2).
(JA)  使用環境に応じて,収納された基板に異物が付着することを効果的に防止する。 基板収納装置(100)内に外気を取り込む給気部(110)と,給気部に対向して配置された排気部(120)と,給気部と排気部との間に設けられ,これらの間を連通する連通孔(142)を有する基板載置板(140)と,給気部に設けられた給気フィルタ(112)と,給気部又は排気部に設けられたファン(122)とを備え,基板収納装置(100)内の状態を検出する状態センサと,パーティクル帯電装置と,温調装置とのいずれか又は2つ以上の組合せを装着孔(150)に着脱自在に設けた。 (図2)
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