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1. WO2011092225 - DISPOSITIF ELECTRONIQUE DE PILOTAGE ET D'AMPLIFICATION POUR UNE SONDE LOCALE PIEZOELECTRIQUE DE MESURE DE FORCE SOUS UN FAISCEAU DE PARTICULES

Numéro de publication WO/2011/092225
Date de publication 04.08.2011
N° de la demande internationale PCT/EP2011/051096
Date du dépôt international 27.01.2011
CIB
G01Q 30/02 2010.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
30Moyens auxiliaires destinés à assister ou améliorer les techniques ou les appareils à sonde à balayage, p.ex. dispositifs d’affichage ou de traitement de données
02Dispositifs d'analyse d’un type autre que la microscopie à sonde à balayage SPM, p.ex. microscope électronique à balayage SEM , spectromètre ou microscope optique
H01L 41/04 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
02Détails
04d'éléments piézo-électriques ou électrostrictifs
CPC
G01Q 10/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
10Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
04Fine scanning or positioning
06Circuits or algorithms therefor
G01Q 30/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
30Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
02Non-SPM analysing devices, e.g. SEM [Scanning Electron Microscope], spectrometer or optical microscope
H01L 41/042
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
04of piezo-electric or electrostrictive devices
042Drive or control circuitry or methods for piezo-electric or electrostrictive devices not otherwise provided for
Déposants
  • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES [FR]/[FR] (AllExceptUS)
  • POLESEL, Jérôme [FR]/[FR] (UsOnly)
Inventeurs
  • POLESEL, Jérôme
Mandataires
  • ILGART, Jean-Christophe
Données relatives à la priorité
105063329.01.2010FR
Langue de publication Français (fr)
Langue de dépôt français (FR)
États désignés
Titre
(EN) ELECTRONIC CONTROL AND AMPLIFICATION DEVICE FOR A PIEZOELECTRIC LOCAL PROBE FOR MEASURING FORCE BENEATH A PARTICLE BEAM
(FR) DISPOSITIF ELECTRONIQUE DE PILOTAGE ET D'AMPLIFICATION POUR UNE SONDE LOCALE PIEZOELECTRIQUE DE MESURE DE FORCE SOUS UN FAISCEAU DE PARTICULES
Abrégé
(EN) The invention relates to an electronic control device for controlling a piezoelectric resonator local probe (11) and for preamplifying and processing the signals thereof, said probe being intended for locally measuring physical properties of a sample (10) in an environment having a particle beam (12) directed towards the probe (11), wherein an excitation voltage generated by the excitation means (15) is applied to the piezoelectric resonator (11) via a first galvanic isolation transformer (TR­_1), and wherein a current for measuring the mechanical oscillations of the piezoelectric resonator (11) is applied, via a second galvanic isolation transformer (TR_2), to preamplification means (18) situated downstream.
(FR) L'invention concerne un dispositif électronique de pilotage d'une sonde locale à résonateur piézoélectrique (11) et de préamplification et traitement de ses signaux, cette sonde étant destinée à la mesure locale de propriétés physiques d'un échantillon (10) dans un environnement présentant un faisceau de particules (12) dirigé vers la sonde (11), dans lequel une tension d'excitation générée par les moyens d'excitation (15) est appliquée au résonateur piézoélectrique (11) via un premier transformateur d'isolation galvanique (TR_1), et dans lequel un courant de mesure des oscillations mécaniques du résonateur piézoélectrique (11) est appliqué via un second transformateur d'isolation galvanique (TR_2) à des moyens de préamplification (18) situés en aval.
Documents de brevet associés
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