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1. WO2011060418 - ECONOMIES D'ÉNERGIE ET SURVEILLANCE GLOBALE DES ÉMISSIONS DE GAZ

Numéro de publication WO/2011/060418
Date de publication 19.05.2011
N° de la demande internationale PCT/US2010/056825
Date du dépôt international 16.11.2010
CIB
G05B 11/48 2006.01
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
BSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU DE TEST DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
11Commandes automatiques
44uniquement pneumatique
48avec puissance extérieure
G05B 19/418 2006.01
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
BSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU DE TEST DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
19Systèmes de commande à programme
02électriques
418Commande totale d'usine, c.à d. commande centralisée de plusieurs machines, p.ex. commande numérique directe ou distribuée (DNC), systèmes d'ateliers flexibles (FMS), systèmes de fabrication intégrés (IMS), productique (CIM)
CPC
G05B 19/042
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
04Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
042using digital processors
G05B 19/045
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
04Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
045using logic state machines, consisting only of a memory or a programmable logic device containing the logic for the controlled machine and in which the state of its outputs is dependent on the state of its inputs or part of its own output states, e.g. binary decision controllers, finite state controllers
G05B 2219/23316
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
20Pc systems
23Pc programming
23316Standby, inactive, sleep or active, operation mode
G05B 2219/2612
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
20Pc systems
26Pc applications
2612Data acquisition interface
Y02P 80/10
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
80Climate change mitigation technologies for sector-wide applications
10Efficient use of energy, e.g. using compressed air or pressurized fluid as energy carrier
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • LOLDJ, Youssef, A. [US]/[US] (UsOnly)
  • CAYER, Maxime [CA]/[US] (UsOnly)
  • JUNG, Jay, J. [US]/[US] (UsOnly)
  • CRAWFORD, Shaun [US]/[US] (UsOnly)
  • TRIBULA, Dana [US]/[US] (UsOnly)
  • CLARK, Daniel, O. [US]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • LOLDJ, Youssef, A.
  • CAYER, Maxime
  • JUNG, Jay, J.
  • CRAWFORD, Shaun
  • TRIBULA, Dana
  • CLARK, Daniel, O.
Mandataires
  • TABOADA, Alan
Données relatives à la priorité
12/945,86914.11.2010US
61/261,72516.11.2009US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) ENERGY SAVINGS AND GLOBAL GAS EMISSIONS MONITORING
(FR) ECONOMIES D'ÉNERGIE ET SURVEILLANCE GLOBALE DES ÉMISSIONS DE GAZ
Abrégé
(EN)
Methods and apparatus for enhanced control, monitoring and recording of incoming chemical and power use, and emissions of electronic device manufacturing systems are provided. In some embodiments, integrated sub-fab system systems may monitor the energy usage of the sub-fab equipment. The tool can enter many different depths of energy savings modes such as idle (shallow energy savings where production equipment can recover to normal production with no quality or throughput impact in seconds), sleep (deeper energy savings where production equipment can recover in minutes), or hibernate (where production equipment may require hours to recover not to have impact on quality, or throughput) for the system. In some embodiments, the system may monitor and display all gas emissions in a sub-fab as well as the Semi S23 method reporting of CO2 equivalent emission. The system may monitor effluent process gases and energy use from the process tool and sub-fab equipment.
(FR)
La présente invention concerne des procédés et un appareil pour une commande, une surveillance et un enregistrement améliorés de l'utilisation de produits chimiques entrants et d'énergie, et des émissions de systèmes de fabrication de dispositifs électroniques. Dans certains modes de réalisation, des systèmes de sous-fabrication intégrés peuvent surveiller l'utilisation d'énergie de l'équipement de sous-fabrication. L'outil peut entrer de nombreux niveaux différents de modes d'économie d'énergie du système tels que le ralenti (faibles économies d'énergie où l'équipement de production peut revenir à la production normale sans impact sur la qualité ou le rendement, en quelques secondes), la veille (plus importantes économies d'énergie où l'équipement de production peut se rétablir en quelques minutes) ou l'hibernation (où l'équipement de production peut nécessiter plusieurs heures pour se rétablir non sans avoir un impact sur la qualité ou le rendement). Dans certains modes de réalisation, le système peut surveiller et afficher toutes les émissions de gaz dans une sous-fabrication ainsi que le rapport du procédé Semi S23 des émissions en équivalent CO2. Le système peut surveiller les gaz utilisés d'effluents et l'utilisation énergétique à partir de l'outil du procédé et de l'équipement de sous-fabrication.
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