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1. WO2011044882 - ACTIONNEUR MULTICOUCHE PIÉZOÉLECTRIQUE

Numéro de publication WO/2011/044882
Date de publication 21.04.2011
N° de la demande internationale PCT/DE2010/001194
Date du dépôt international 12.10.2010
CIB
H01L 41/047 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
02Détails
04d'éléments piézo-électriques ou électrostrictifs
047Electrodes
H01L 41/083 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
08Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
083avec une structure empilée ou multicouche
CPC
H01L 41/0475
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
04of piezo-electric or electrostrictive devices
047Electrodes ; or electrical connection arrangements
0475Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
H01L 41/083
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
083having a stacked or multilayer structure
Déposants
  • PI CERAMIC GMBH KERAMISCHE TECHNOLOGIEN UND BAUELEMENTE [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • HENNIG, Eberhard [DE]/[DE] (UsOnly)
  • DITAS, Peter [DE]/[DE] (UsOnly)
  • KOPSCH, Daniel [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventeurs
  • HENNIG, Eberhard
  • DITAS, Peter
  • KOPSCH, Daniel
Données relatives à la priorité
10 2009 049 718.817.10.2009DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) PIEZOELEKTRISCHER MEHRSCHICHTAKTUATOR
(EN) MULTILAYER PIEZOELECTRIC ACTUATOR
(FR) ACTIONNEUR MULTICOUCHE PIÉZOÉLECTRIQUE
Abrégé
(DE)
Die Erfindung betrifft einen Aktorkörper mit einer Vielzahl von Piezokeramikschichten (4), die alternierend durch jeweils eine positive oder negative Innenelektrode (2, 3) voneinander getrennt sind, positive und negative Sammelelektroden (9, 10), die auf zwei Außenseiten des Aktorkörpers angeordnet und mit den zugeordneten positiven oder negativen Innenelektroden leitend verbunden sind, wobei der Aktorkörper des Mehrschichtaktuators (1) zumindest je eine positive und eine negative Kontaktierungselektrode (7, 8) aufweist, über welche der Mehrschichtaktuator elektrisch kontaktiert wird und welche mit der zugeordneten positiven oder negativen Sammelelektrode leitend verbunden ist, und die Kontaktierungselektroden in Bereichen (12, 13; 16, 17) des Aktorkörpers angeordnet sind, die mit einer Grundmetallisierung versehen sind, wobei die mit einer Grundmetallisierung versehenen Bereiche des Aktorkörpers durch Abstände (14, 18) voneinander und Abstände (15, 19) zu den Innenelektroden getrennt sind, wobei die Abstände nicht kleiner als die Dicke der Piezokeramikschichten im aktiven Bereich des Mehrschichtaktuators sind.
(EN)
The invention relates to an actuator body, comprising a plurality of piezoceramic layers (4), which are separated from each other by means of a positive or negative internal electrode (2, 3) in alternation, positive and negative collecting electrodes (9, 10), which are arranged on two outer faces of the actuator body and are conductively connected to the associated positive or negative internal electrodes, wherein the actuator body of the multilayer actuator (1) has at least one positive and one negative contacting electrode (7, 8), by means of which the multilayer actuator is electrically contacted and which is conductively connected to the associated positive or negative collecting electrode, and the contacting electrodes are arranged in areas (12, 13; 16, 17) of the actuator body that are provided with a base metallization. The areas of the actuator body provided with a base metallization are spaced apart from each other (14, 18) and distances (15, 19) from the internal electrodes, wherein the distances are not less than the thickness of the piezoceramic layers in the active area of the multilayer actuator.
(FR)
L'invention concerne un corps d'actionneur comportant une pluralité de couches piézocéramiques alternativement séparées l'une de l'autre par respectivement une électrode intérieure positive ou négative, et des électrodes de captage positives et négatives disposées sur deux côtés extérieurs du corps d'actionneur et connectées de façon conductrice aux électrodes intérieures positives ou négatives respectives. Le corps d'actionneur de l'actionneur multicouche comporte respectivement au moins une électrode de contact positive et au moins électrode de contact négative au moyen desquelles l'actionneur multicouche est mis en contact électrique et lesquelles sont connectées de façon conductrice à l'électrode de captage positive ou négative respective. Les électrodes de contact sont disposées dans des zones du corps d'actionneur pourvues d'une métallisation de base, séparées mutuellement et par rapport aux électrodes intérieures par des espaces, les espaces n'étant pas inférieurs à l'épaisseur des couches piézocéramiques dans la zone active de l'actionneur multicouche.
Également publié en tant que
DE1120100040702
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