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1. WO2010125919 - PROCÉDÉ D'AFFICHAGE D'EXTRACTION DE FACTEUR D'ERREUR ET SYSTÈME D'AFFICHAGE DE CELUI-CI

Numéro de publication WO/2010/125919
Date de publication 04.11.2010
N° de la demande internationale PCT/JP2010/056713
Date du dépôt international 14.04.2010
CIB
H01L 21/66 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
G06T 11/20 2006.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
11Génération d'images bidimensionnelles
20Traçage à partir d'éléments de base, p.ex. de lignes ou de cercles
H01J 37/28 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
28avec faisceaux de balayage
CPC
G06T 11/206
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
112D [Two Dimensional] image generation
20Drawing from basic elements, e.g. lines or circles
206Drawing of charts or graphs
H01L 22/20
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
22Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
20Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
Déposants
  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 小池 弘人 KOIKE Hirohito [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 八森 達也 HACHIMORI Tatsuya [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 河野 朱美 KONO Akemi [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • 小池 弘人 KOIKE Hirohito
  • 八森 達也 HACHIMORI Tatsuya
  • 河野 朱美 KONO Akemi
Mandataires
  • 春日 讓 KASUGA Yuzuru
Données relatives à la priorité
2009-11122430.04.2009JP
Langue de publication Japonais (ja)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR DISPLAYING ERROR FACTOR EXTRACTION AND SYSTEM FOR DISPLAYING THE SAME
(FR) PROCÉDÉ D'AFFICHAGE D'EXTRACTION DE FACTEUR D'ERREUR ET SYSTÈME D'AFFICHAGE DE CELUI-CI
(JA) エラー要因抽出の表示方法及びその表示システム
Abrégé
(EN) Provided are a method for displaying an error factor extraction and a system for displaying the same, wherein ranking recipes which should be corrected because the recipes are factors of a measurement error of a length measuring SEM and apply a load to the operation of a device at a maximum; and detecting the sequence of the measurement error, can be visually judged. A visual information management portion (110) creates an error ratio distribution or an error factor extraction graph, such as an error breakdown graph, a correlation graph, etc., on the basis of the log information imported from the length measuring SEM. A graph display processing portion (118A) of a visual information control means (118) creates an error ratio distribution on the basis of the lot or measurement point error ratio in the total number of processing operations obtained by an error ratio calculation processing portion (118B). A highlight processing portion (118C) highlights a management recipe specified by a parameter of an input means (120) on a graph. A contour display processing portion (118D) displays the distribution of the number of errors in a plane using a contour, on a graph.
(FR) L'invention porte sur un procédé d'affichage d'une extraction de facteur d'erreur et sur un système pour afficher celui-ci, selon lesquels le classement de méthodes qui devraient être corrigées en raison du fait que les méthodes sont des facteurs d'une erreur de mesure d'une erreur-type (SEM) de mesure de longueur et appliquent une charge au fonctionnement d'un dispositif à un maximum; et la détection de la séquence de l'erreur de mesure, peuvent être visuellement déterminés. Une partie gestion d'informations visuelles (110) créée une distribution de rapport d'erreur ou un graphique d'extraction de facteur d'erreur, tel qu'un graphique de ventilation d'erreur, un graphique de corrélation, etc., sur la base des informations de journal importées à partir du SEM de mesure de longueur. Une partie traitement d'affichage de graphique (118A) d'un moyen de commande d'informations visuelles (118) créée une distribution de rapport d'erreur sur la base du lot ou du rapport d'erreur de point de mesure dans le nombre total d'opérations de traitement obtenu par une partie traitement de calcul de rapport d'erreur (118b). Une partie traitement de mise en évidence (118) met en évidence une méthode de gestion spécifiée par un paramètre d'un moyen d'entrée (120) sur un graphique. Une partie traitement d'affichage de contour (118D) affiche la distribution du nombre d'erreurs dans un plan à l'aide d'un contour, sur un graphique.
(JA)  測長SEMの測定エラーの要因で、装置の稼動状況に最も負荷を与えている修正すべきレシピの順位付けと測定エラーのシーケンス検知を容易に視覚的に判断できるエラー要因抽出の表示方法及びその表示システムを提供することにある。 ビジュアル情報管理部110は、測長SEMから取り込んだログ情報等から、エラー率分布やエラー内訳グラフ、相関グラフなどのエラー要因抽出グラフを作成する。ビジュアル情報制御手段118のグラフ表示処理部118Aは、エラー率算出処理部118Bによって求めた総処理数におけるロット或いは測定点エラー率からエラー率分布を作成する。強調表示処理部118Cは、入力手段120のパラメータで指定された管理レシピをグラフ上に強調表示する。等高線表示処理部118Dは、グラフ上でエラー数の面内分布を等高線で表示する。
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