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1. (WO2010015508) ÉLÉMENT OPTIQUE POUR APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE COMPRENANT UN TEL ÉLÉMENT OPTIQUE ET PROCÉDÉ POUR FABRIQUER L'ÉLÉMENT OPTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/015508    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/059398
Date de publication : 11.02.2010 Date de dépôt international : 22.07.2009
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : ASML Netherlands B.V. [NL/NL]; De Run 6501 NL-5504 DR Veldhoven (NL) (Tous Sauf US).
SJMAENOK, Leonid [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
BANINE, Vadim [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
MOORS, Roel [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
GLUSHKOV, Denis [RU/DE]; (DE) (US Seulement).
YAKUNIN, Andrei, Mikhailovich [RU/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : SJMAENOK, Leonid; (NL).
BANINE, Vadim; (NL).
MOORS, Roel; (NL).
GLUSHKOV, Denis; (DE).
YAKUNIN, Andrei, Mikhailovich; (NL)
Mandataire : SLENDERS, Peter; De Run 6504 NL-5504 DR Veldhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/136,010 06.08.2008 US
Titre (EN) OPTICAL ELEMENT FOR A LITHOGRAPHIC APPARATUS, LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING SUCH OPTICAL ELEMENT AND METHOD FOR MAKING THE OPTICAL ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT OPTIQUE POUR APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE COMPRENANT UN TEL ÉLÉMENT OPTIQUE ET PROCÉDÉ POUR FABRIQUER L'ÉLÉMENT OPTIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A lithographic apparatus include an optical element that includes an oriented carbon nanotube sheet. The optical element has an element thickness in the range of about 20-500 nm and has a transmission for EUV radiation having a wavelength in the range of about 1-20 nm of at least about 20% under perpendicular irradiation with the EUV radiation. The oriented carbon nanotube sheet may be used per se as optical element, and may be designed to reduce debris and/or improve the ratio of EUV/non-desired radiation. The sheet, due to its strength, does not necessarily need a support. The optical element of the invention may be unsupported.
(FR)L'invention porte sur un appareil lithographique comprenant un élément optique qui comprend une feuille de nanotubes de carbone orientés. L'élément optique a une épaisseur d'élément comprise dans la plage d'environ 20 à 500 nm et a une transmission pour le rayonnement ultraviolet extrême ayant une longueur d'onde comprise dans la plage d'environ 1 à 20 nm d'au moins environ 20 % sous irradiation perpendiculaire du rayonnement ultraviolet extrême. La feuille de nanotubes de carbone orientés peut être utilisée en soi en tant qu'élément optique, et peut être conçue de façon à réduire les débris et/ou à améliorer le rapport de rayonnement ultraviolet extrême/rayonnement non souhaité. La feuille, en raison de sa résistance, ne nécessite pas nécessairement de support. L'élément optique selon l'invention peut ne pas être supporté.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)