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1. (WO2010007569) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE RAYONNEMENTS UV EXTRÊMES COMPRENANT UN DÉTECTEUR DE CONTAMINATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/007569    N° de la demande internationale :    PCT/IB2009/053009
Date de publication : 21.01.2010 Date de dépôt international : 10.07.2009
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH [DE/DE]; Lübeckertordamm 5 20099 Hamburg (DE) (DE only).
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N. V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1 NL-5621 BA Eindhoven (NL) (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
XTREME TECHNOLOGIES GMBH [DE/DE]; Steinbachstrasse 15 D-52074 Aachen (DE) (Tous Sauf US).
METZMACHER, Christof [DE/BE]; (NL) (US Seulement).
WEBER, Achim [DE/DE]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : METZMACHER, Christof; (NL).
WEBER, Achim; (NL)
Mandataire : BEKKERS, Joost; High Tech Campus 44 NL-5656 AE Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
08104787.0 18.07.2008 EP
Titre (EN) EXTREME UV RADIATION GENERATING DEVICE COMPRISING A CONTAMINATION CAPTOR
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE RAYONNEMENTS UV EXTRÊMES COMPRENANT UN DÉTECTEUR DE CONTAMINATION
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to an improved EUV generating device having a contamination captor for "catching" contamination and/or debris caused by corrosion or otherwise unwanted reactions of the tin bath.
(FR)L'invention concerne un dispositif de génération EUV amélioré ayant un détecteur de contamination pour "capturer" une contamination et/ou des débris provoqués par la corrosion ou sinon des réactions indésirables du bain d'étain.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)