(EN) The invention provides an improved CVD reactor sub-system including a modular reactor enclosure and function modules. The modular reactor enclosure can accommodate a commercially available cold-wall CVD reactor chamber, and the function modules can be arranged on the reactor enclosure to provide functions necessary to perform a CVD process with the reactor chamber. Preferred function modules include modules for providing heat to a CVD reactor chamber and modules for measuring conditions internal to a CVD reactor chamber. The invention also provides methods for configuring such a CVD reactor sub-system, in particular configuring the sub-system to best perform a particular CVD process, and kits for performing such configuring. Advantageously, the invention allows a single CVD reactor sub-system to be reconfigured and rearranged so that it can best perform a number of different CVD processes.
(FR) Cette invention concerne un sous-système de réaction amélioré pour dépôt chimique en phase vapeur (CVD), comprenant une enceinte de réaction modulaire et des modules fonctionnels. L’enceinte de réaction modulaire peut accueillir une chambre de réaction CVD à paroi froide disponible dans le commerce, et mes modules fonctionnels peuvent être disposés sur l’enceinte de réaction pour assurer les fonctions nécessaires à l’exécution d’un procédé de CVD dans la chambre de réaction. Des modules fonctionnels préférés comprennent des modules fournissant de la chaleur à une chambre de réaction CVD et des modules destinés à mesurer les conditions internes d’une chambre de réaction CVD. L’invention concerne aussi des méthodes de configuration d’un tel sous-système de réaction pour CVD, en particulier de configuration du sous-système en vue de l’exécution optimale d’un procédé de CVD particulier, ainsi que des ensembles d’outillage destinés à réaliser une telle configuration. Avantageusement, l’invention permet la reconfiguration et le réagencement d’un unique sous-système de réacteur CVD de manière à permettre l’exécution optimale d’un certain nombre de procédés différents de CVD.
