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1. WO2010005601 - SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE MISE À JOUR D’UN COURANT DE CRAQUELURE DE SOUPAPE DANS DES RÉGULATEURS DE DÉBIT MASSIQUE

Numéro de publication WO/2010/005601
Date de publication 14.01.2010
N° de la demande internationale PCT/US2009/031498
Date du dépôt international 21.01.2009
CIB
G05D 7/06 2006.1
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
DSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION DES VARIABLES NON ÉLECTRIQUES
7Commande de débits
06caractérisée par l'utilisation de moyens électriques
CPC
F16K 31/02
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
31Actuating devices;; Operating means; Releasing devices
02electric
G05D 7/06
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
7Control of flow
06characterised by the use of electric means
G05D 7/0635
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
7Control of flow
06characterised by the use of electric means
0617specially adapted for fluid materials
0629characterised by the type of regulator means
0635by action on throttling means
Y10T 137/7761
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
137Fluid handling
7722Line condition change responsive valves
7758Pilot or servo controlled
7761Electrically actuated valve
Déposants
  • MKS INSTRUMENTS, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • DING, Junhua [CL]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • DING, Junhua
Mandataires
  • KUSMER, Toby, H.
Données relatives à la priorité
12/139,63316.06.2008US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SYSTEMS AND METHODS FOR UPDATING VALVE CRACKING CURRENT IN MASS FLOW CONTROLLERS
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE MISE À JOUR D’UN COURANT DE CRAQUELURE DE SOUPAPE DANS DES RÉGULATEURS DE DÉBIT MASSIQUE
Abrégé
(EN) A valve system for a mass flow controller that controls a flow rate of a fluid is disclosed.The valve system includes a valve movable between an open position and a closed position to adjust the flow rate of the fluid to a desired set point, and a valve controller. The valve controller sends a valve current through the valve, so as to adjust the flow rate of the fluid until an actual measured flow rate of the fluid substantially equals the desired set point. The valve controller monitors the valve current and the flow rate when the valve is moving to the closed position, determines a value of the valve current when the fluid has near-zero flow rate, and updates the valve cracking current for a next run, by setting the updated valve cracking current to the value of the valve current at the near-zero flow rate.
(FR) La présente invention concerne un système de soupape pour un régulateur de débit massique qui régule un débit de fluide. Le système de soupape comprend une soupape mobile entre une position ouverte et une position fermée pour ajuster le débit du fluide à un point déterminé souhaité, et un dispositif de commande de soupape. Le dispositif de commande de soupape envoie un courant de soupape à travers celle-ci de façon à ajuster le débit du fluide jusqu’à ce qu’un débit mesuré réel du fluide soit sensiblement égal au point défini souhaité. Le dispositif de commande de soupape surveille le courant de soupape et le débit lorsque la soupape se déplace vers la position fermée, détermine une valeur du courant de soupape lorsque le fluide a un débit pratiquement nul et met à jour le courant de craquelure de soupape pour une utilisation ultérieure, par le réglage du courant de craquelure de soupape mis à jour sur la valeur du courant de soupape au débit pratiquement nul.
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