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1. WO2009134501 - PROCÉDÉS DE MESURE ET DE CARACTÉRISATION DE MODULATEURS INTERFÉROMÉTRIQUES

Numéro de publication WO/2009/134501
Date de publication 05.11.2009
N° de la demande internationale PCT/US2009/033259
Date du dépôt international 05.02.2009
CIB
G01D 5/241 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
DMESURE NON SPÉCIALEMENT ADAPTÉE À UNE VARIABLE PARTICULIÈRE; DISPOSITIONS NON COUVERTES PAR UNE SEULE DES AUTRES SOUS-CLASSES POUR MESURER PLUSIEURS VARIABLES; APPAREILS COMPTEURS À TARIFS; DISPOSITIONS POUR LE TRANSFERT OU LA TRANSDUCTION DE MESURE NON SPÉCIALEMENT ADAPTÉES À UNE VARIABLE PARTICULIÈRE; MESURES OU TESTS NON PRÉVUS AILLEURS
5Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière
12utilisant des moyens électriques ou magnétiques
14influençant la valeur d'un courant ou d'une tension
24en faisant varier la capacité
241par mouvement relatif d'électrodes de condensateur
CPC
B81B 2201/042
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
04Optical MEMS
042Micromirrors, not used as optical switches
B81C 99/0045
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
99Subject matter not provided for in other groups of this subclass
0035Testing
0045End test of the packaged device
G01D 5/2417
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
5Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
12using electric or magnetic means
14influencing the magnitude of a current or voltage
24by varying capacitance
241by relative movement of capacitor electrodes
2417by varying separation
G01R 31/2829
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
282Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
2829Testing of circuits in sensor or actuator systems
G01R 31/2837
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
2832Specific tests of electronic circuits not provided for elsewhere
2836Fault-finding or characterising
2837Characterising or performance testing, e.g. of frequency response
Déposants
  • QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • GOVIL, Alok [IN]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • GOVIL, Alok
Mandataires
  • ABUMERI, Mark, M.
Données relatives à la priorité
12/242,76330.09.2008US
61/027,78111.02.2008US
61/101,63230.09.2008US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHODS FOR MEASUREMENT AND CHARACTERIZATION OF INTERFEROMETRIC MODULATORS
(FR) PROCÉDÉS DE MESURE ET DE CARACTÉRISATION DE MODULATEURS INTERFÉROMÉTRIQUES
Abrégé
(EN)
Various methods are described to characterize interferometric modulators or similar devices. Measured voltages across interferometric modulators may be used to characterize transition voltages of the interferometric modulators. Measured currents may be analyzed by integration of measured current to provide an indication of a dynamic response of the interferometric modulator. Frequency analysis may be used to provide an indication of a hysteresis window of the interferometric modulator or mechanical properties of the interferometric modulator. Capacitance may be determined through signal correlation, and spread-spectrum analysis may be used to minimize the effect of noise or interference on measurements of various interferometric modulator parameters.
(FR)
L'invention concerne divers procédés pour caractériser des modulateurs interférométriques ou des dispositifs similaires. Les tensions mesurées aux bornes des modulateurs interférométriques peuvent être utilisées pour caractériser des tensions de transition de ces modulateurs interférométriques. Des courants mesurés peuvent être analysés par l'intégration de courant mesuré pour fournir une indication d'une réponse dynamique du modulateur interférométrique. L'analyse de fréquence peut être utilisée pour fournir une indication de fenêtre d'hystérésis du modulateur interférométrique ou des propriétés mécaniques du modulateur interférométrique. La capacitance peut être déterminée par une corrélation de signaux, et une analyse de spectre étalé peut être utilisée pour minimiser l'effet du bruit ou du brouillage sur des mesures de divers paramètres du modulateur interférométrique.
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