(EN) An actuator system is disclosed having a first actuator (XP1) and a second actuator (XP2) configured to control a relative position of optical components of a lithographic apparatus. The first actuator (XP1) is configured to provide a displacement, parallel to an actuation direction, between a mounting point of a first component of the lithographic apparatus and a second component of the lithographic apparatus. The second actuator (XP2) is configured to provide a displacement parallel to the actuation direction between a reference mass (M1) associated with the second actuator (XP2) and the mounting point of the first component of the lithographic apparatus. The second actuator (XP2) may be driven such that the displacement between the second actuator (XP2) and the reference mass (M1) increases the apparent stiffness of the first actuator (XP1).
(FR) L'invention porte sur un système d'actionneur ayant un premier actionneur (XP1) et un second actionneur (XP2) configurés pour commander une position relative de composants optiques d'un appareil lithographique. Le premier actionneur (XP1) est configuré pour fournir un déplacement, parallèle à une direction d'actionnement, entre un point de montage d'un premier composant de l'appareil lithographique et un second composant de l'appareil lithographique. Le second actionneur (XP2) est configuré pour fournir un déplacement parallèle à la direction d'actionnement entre une masse de référence (M1) associée au second actionneur (XP2) et le point de montage du premier composant de l'appareil lithographique. Le second actionneur (XP2) peut être entraîné de telle sorte que le déplacement entre le second actionneur (XP2) et la masse de référence (M1) augmente la rigidité apparente du premier actionneur (XP1).