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1. WO2009114825 - CAPTEURS À BASE PIÉZORÉSISTIVE À DIAPHRAGME PERMÉABLE

Numéro de publication WO/2009/114825
Date de publication 17.09.2009
N° de la demande internationale PCT/US2009/037189
Date du dépôt international 13.03.2009
CIB
G01L 7/08 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
7Mesure de la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments mécaniques ou hydrauliques sensibles à la pression
02sous forme de jauges, élastiquement déformables
08du type à diaphragme élastique
G01L 9/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
CPC
G01L 9/0054
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0051using variations in ohmic resistance
0052of piezoresistive elements
0054integral with a semiconducting diaphragm
G01N 19/10
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
19Investigating materials by mechanical methods
10Measuring moisture content, e.g. by measuring change in length of hygroscopic filament; Hygrometers
Déposants
  • UNIVERSITY OF UTAH RESEARCH FOUNDATION [US]/[US] (AllExceptUS)
  • SOLZBACHER, Florian [US]/[US] (UsOnly)
  • ORTHNER, Michael [US]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • SOLZBACHER, Florian
  • ORTHNER, Michael
Mandataires
  • ERICKSEN, Erik, S.
Données relatives à la priorité
61/036,15913.03.2008US
61/119,34902.12.2008US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) PERMEABLE DIAPHRAGM PIEZORESISTIVE BASED SENSORS
(FR) CAPTEURS À BASE PIÉZORÉSISTIVE À DIAPHRAGME PERMÉABLE
Abrégé
(EN)
An improved piezoresistive-based sensor (78) can include a cavity (66) in a substantially solid substrate (68). A reactive agent can optionally be present in the cavity (66). A flexible machined membrane can form a wall of the cavity (66). The flexible machined membrane can include an array of channels (76) configured to permit selective passage of a target material into and out of the cavity. Additionally, the flexible machined membrane can include a piezoresistive features (74) associated with the membrane. The reactive agent included in the cavity (66) can be volumetrically responsive to the presence of the target material or fluid. These sensors can be configured as pressure sensors, chemical sensors, flow sensors, and the like.
(FR)
Le capteur (78) à base piézorésistive amélioré selon l’invention peut comprendre une cavité (66) dans un substrat sensiblement solide (68). Un agent réactif peut optionnellement être présent dans la cavité (66). Une membrane usinée flexible peut former une paroi de la cavité (66). La membrane usinée flexible peut comprendre une matrice de canaux (76) configurés pour permettre l’entrée et la sortie sélectives d’un matériau cible dans et hors de la cavité. De plus, la membrane usinée flexible peut comprendre des éléments piézorésistifs (74) associés à la membrane. L’agent réactif compris dans la cavité (66) peut présenter une réponse volumétrique à la présence du matériau ou fluide cible. De tels capteurs peuvent être configurés comme capteurs de pression, capteurs chimiques, capteurs de débit et similaire.
Également publié en tant que
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