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1. (WO2009105904) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR L’ÉVALUATION D’UNE GRANDEUR DE MESURE INTERFÉROMETRIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/105904    N° de la demande internationale :    PCT/CH2009/000044
Date de publication : 03.09.2009 Date de dépôt international : 05.02.2009
CIB :
G01L 9/00 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01)
Déposants : INFICON GMBH [CH/CH]; Hintergasse 15b, CH-7310 Bad Ragaz (CH) (Tous Sauf US).
WAEGLI, Peter [CH/CH]; (CH) (US Seulement).
MULLIS, Felix [CH/CH]; (CH) (US Seulement)
Inventeurs : WAEGLI, Peter; (CH).
MULLIS, Felix; (CH)
Mandataire : WEGMANN, Urs; Saschela 3, CH-9479 Oberschan (CH)
Données relatives à la priorité :
294/08 28.02.2008 CH
Titre (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR AUSWERTUNG EINER INTERFEROMETRISCHEN MESSGRÖSSE
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR EVALUATING AN INTERFEROMETRIC MEASUREMENT VARIABLE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR L’ÉVALUATION D’UNE GRANDEUR DE MESURE INTERFÉROMETRIQUE
Abrégé : front page image
(DE)Zur Auswertung einer Messgrösse (12) mit einer Messzelle (5), enthaltend eine Kavität (11) welche für Licht einen optischen Weglängenunterschied (dGap) erzeugt, welcher sich entsprechend der Variation der Messgrösse (12) verändert werden folgende Verfahrensschritte vorgeschlagen: Einführen von Licht (1) von einer Weisslichtquelle (2) mit Hilfe eines Lichtwellenleiters (4) via eines Kopplers (3) der im Pfad des Lichtwellenleiters (4) angeordnet ist in die Kavität (11); Auskoppeln mindestens eines Teils des von der Kavität (11) in den Lichtwellenleiter zurück reflektierten Lichtes (1') mit Hilfe des Kopplers (3) und zuführen dieses reflektierten Lichtes (1') an ein optisches Spektrometer (6); Ermittlung des optischen Spektrums des reflektierten Lichtes (1') im Spektrometer (6) und erzeugen eines Spektrometersignals (8); Zuführung des Spektrometersignals (8) an eine Recheneinheit (9), wobei das Spektrometersignal (8) durch die Recheneinheit (9) unmittelbar zu einem Interferogramm gewandelt wird und aus dessen Intensitätsverlauf die Lage des jeweiligen Amplitudenextremalwertes ermittelt wird und diese jeweilige Lage unmittelbar den jeweiligen Wert des optischen Weglängenunterschiedes in der Kavität darstellt, welcher die Messgrösse (12) beinhaltet.
(EN)In order to evaluate a measurement variable (12) with a measurement cell (5), comprising a cavity (11) which produces an optical path length difference (doap) for light, which difference varies in accordance with the variation in measurement variable (12), the following method steps are proposed: injecting light (1) from a white-light source (2) into the cavity (11) with the aid of an optical waveguide (4) via a coupler (3) arranged in the path of the optical waveguide (4); coupling out at least some of the light (1’) reflected back from the cavity (11) into the optical waveguide with the aid of the coupler (3) and supplying this reflected light (1’) to an optical spectrometer (6); ascertaining the optical spectrum of the reflected light (1’) in the spectrometer (6) and producing a spectrometer signal (8); supplying the spectrometer signal (8) to an arithmetic logic unit (9), wherein the spectrometer signal (8) is converted by the arithmetic logic unit (9) directly into an interferogram and the position of the respective amplitude extreme value is ascertained from the intensity profile of the interferogram and said respective position directly represents the respective value of the optical path length difference in the cavity, which includes the measurement variable (12).
(FR)L’objet de l’invention est d’évaluer une grandeur de mesure (12) à l’aide d’une cellule de mesure (5), contenant une cavité (11) qui produit pour la lumière une différence de longueur de chemin optique (doap) qui se modifie en fonction de la variation de la grandeur de mesure (12). A cette fin, l’invention propose les étapes de procédé suivantes : introduction dans la cavité (11) de lumière (1) d’une source de lumière blanche (2) à l’aide d’une fibre optique (4), via un coupleur (3) qui est disposé dans le chemin de la fibre optique (4) ; découplage, à l’aide du coupleur (3), d’au moins une partie de la lumière (1’) réfléchie par la cavité (11) dans la fibre optique et acheminement de cette lumière réfléchie (1’) vers un spectromètre optique (6) ; détermination du spectre optique de la lumière réfléchie (1’) dans le spectromètre (6) et production d’un signal du spectromètre (8) ; acheminement du signal du spectromètre (8) vers une unité de calcul (9). Le signal du spectromètre (8) est converti directement par l’unité de calcul (9) en un interférogramme et la position de l’extremum respectif d’amplitude est déterminée à partir de la variation d’intensité de celui-ci, cette position respective représentant directement la valeur respective de la différence de longueur de chemin optique dans la cavité, laquelle valeur contient la grandeur de mesure (12).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)