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1. (WO2009091966) ACCÉLÉROMÈTRE DOUBLE AXE INTER-DIFFÉRENTIEL MICRO-USINÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/091966    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/031233
Date de publication : 23.07.2009 Date de dépôt international : 16.01.2009
CIB :
G01P 15/125 (2006.01), G01P 15/18 (2006.01)
Déposants : CUSTOM SENSORS & TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 14501 Princeton Avenue, Moorpark, CA 93021 (US) (Tous Sauf US).
ACAR, Cenk [TR/US]; (US) (US Seulement).
MAO, Minyao [CN/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ACAR, Cenk; (US).
MAO, Minyao; (US)
Mandataire : WRIGHT, Edward, S.; Law Offices Of Edward S. Wright, 1100 Alma Street, Suite 207, Menlo Park, CA 94025 (US)
Données relatives à la priorité :
12/016,822 18.01.2008 US
Titre (EN) MICROMACHINED CROSS-DIFFERENTIAL DUAL-AXIS ACCELEROMETER
(FR) ACCÉLÉROMÈTRE DOUBLE AXE INTER-DIFFÉRENTIEL MICRO-USINÉ
Abrégé : front page image
(EN)Micromachined accelerometer having one or more proof masses (16, 36, 37, 71, 72) mounted on one or more decoupling frames (17, 38, 39) or on a shuttle (73) such that the proof mass(es) can move along a first (y) axis in response to acceleration along the first axis while being constrained against movement along a second (x) axis and for torsional movement about a third (z) axis perpendicular to the first and second axes in response to acceleration along the second axis. Electrodes (26, 53, 54, 78, 79) that move with the proof mass(es) are interleaved with stationary electrodes (27, 56, 57, 81, 82) to form capacitors (A - D) that change in capacitance both in response to movement of the proof mass(es) along the first axis and in response to torsional movement of the proof mass(es) about the third axis, and circuitry (31 - 34) connected to the electrodes for providing output signals corresponding to acceleration along the first and second axes. The capacitances of two capacitors on each side of the second axis change in the same direction in response to acceleration along the first axis and in opposite directions in response to acceleration along the second axis. Signals from the capacitors that change capacitance in opposite directions both in response to acceleration along the first axis and in response to acceleration along the second axis are differentially combined to provide first and second difference signals, and the difference signals are additively and differentially combined to provide output signals corresponding to acceleration along the first and second axes.
(FR)L'invention concerne un accéléromètre micro-usiné comportant une ou plusieurs masses étalons (16, 36, 37, 71, 72) montées sur un ou plusieurs cadres de couplage (17, 38, 39) ou sur une navette (73) de telle sorte que la ou les masses étalons puissent se déplacer le long d'un premier axe (y) en réponse à une accélération le long du premier axe tout en étant contraint vis-à-vis d'un mouvement le long d'un second axe (x) et pour un mouvement de torsion autour d'un troisième axe (z) perpendiculaire au premier et second axe en réponse à une accélération le long du second axe. Des électrodes (26, 53, 54, 78, 79) qui se déplacent avec la ou les masses étalons sont entrelacées avec des électrodes stationnaires (27, 56, 57, 81, 82) pour former des condensateurs (A à D) qui changent de capacité à la fois en réponse à un mouvement de la ou des masses étalons le long du premier axe et en réponse à un mouvement de torsion de la ou des masses étalons autour du troisième axe, et une circuiterie (31 à 34) connectée aux électrodes pour fournir des signaux de sortie correspondant à l'accélération le long des premier et second axes. Les capacités de deux condensateurs de chaque côté du second axe changent dans la même direction en réponse à une accélération le long du premier axe et dans des directions opposées en réponse à l'accélération le long du second axe. Des signaux provenant des condensateurs qui changent la capacité dans des directions opposées à la fois en réponse à l'accélération le long du premier axe et en réponse à une accélération le long du second axe sont combinés différentiellement pour fournir les premier et second signaux de différence, et les signaux de différence sont combinés de façon additive et différentielle pour fournir des signaux de sortie correspondant à l'accélération le long des premier et second axes.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)