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1. WO2009072784 - BLOC CHAUFFANT POUR APPAREIL DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE

Numéro de publication WO/2009/072784
Date de publication 11.06.2009
N° de la demande internationale PCT/KR2008/007080
Date du dépôt international 01.12.2008
CIB
H05B 3/06 2006.01
HÉLECTRICITÉ
05TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
BCHAUFFAGE ÉLECTRIQUE; ÉCLAIRAGE ÉLECTRIQUE NON PRÉVU AILLEURS
3Chauffage par résistance ohmique
02Détails
06Eléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports
CPC
H01L 21/67115
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67098Apparatus for thermal treatment
67115mainly by radiation
H05B 3/0033
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Ohmic-resistance heating
0033Heating devices using lamps
Déposants
  • ASIA PACIFIC SYSTEMS INC [KR]/[KR] (AllExceptUS)
  • SHIM, Jang Woo [KR]/[KR] (UsOnly)
  • KIM, Seung Yong [KR]/[KR] (UsOnly)
  • HER, Jun [KR]/[KR] (UsOnly)
  • HWANG, Dae Cheon [KR]/[KR] (UsOnly)
Inventeurs
  • SHIM, Jang Woo
  • KIM, Seung Yong
  • HER, Jun
  • HWANG, Dae Cheon
Mandataires
  • HUH, Jin-Seok
Données relatives à la priorité
10-2007-012443503.12.2007KR
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) HEATER BLOCK OF RAPID THERMAL PROCESS APPARATUS
(FR) BLOC CHAUFFANT POUR APPAREIL DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE
Abrégé
(EN)
Disclosed is a separation type heater block of a rapid thermal processing apparatus, including a lamp housing formed in a plate shape, and provided with a plurality of lamp insertion holes, into which heating lamps are respectively inserted; a socket housing, into which sockets of the heating lamps are inserted, separably covered on the lamp housing; and a reflector housing provided with light emission holes at positions corresponding to the lamp insertion holes, separably installed under the lamp housing such that lower ends of the heating lamps are respectively inserted into the light emission holes, side walls of the light emission holes serving as barriers, wherein a cooling water channel, through which cooling water flows, is formed through the side walls of the light emission holes of the reflector housing.
(FR)
L'invention concerne un bloc chauffant à séparation pour appareil de traitement thermique rapide, comprenant un boîtier à lampes présentant une forme plate et pourvu d'une pluralité de trous d'insertion de lampes, dans lesquels sont respectivement insérées des lampes de chauffage; un boîtier à douilles dans lequel sont insérées les douilles des lampes de chauffage, recouvert de façon détachable sur le boîtier à lampes; et un boîtier réflecteur pourvu de trous d'émission lumineuse à des positions correspondant aux trous d'insertion de lampes, installé de façon détachable sous le boîtier à lampes de telle sorte que les extrémités inférieures des lampes de chauffage soient respectivement insérées dans les trous d'émission lumineuse, les parois latérales des trous d'émission lumineuse servant de barrières, un conduit d'eau de refroidissement, où circule de l'eau de refroidissement, étant formé à travers les parois latérales des trous d'émission lumineuse du boîtier réflecteur.
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