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1. WO2009072458 - APPAREIL D'ANALYSE DE CARACTÉRISTIQUES

Numéro de publication WO/2009/072458
Date de publication 11.06.2009
N° de la demande internationale PCT/JP2008/071784
Date du dépôt international 01.12.2008
CIB
G01N 21/956 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
956Inspection de motifs sur la surface d'objets
G06T 1/00 2006.01
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
1Traitement de données d'image, d'application générale
G06T 7/00 2006.01
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
H01L 21/66 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
CPC
G01N 21/9501
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
9501Semiconductor wafers
G06K 9/469
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
KRECOGNITION OF DATA; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
9Methods or arrangements for reading or recognising printed or written characters or for recognising patterns, e.g. fingerprints
36Image preprocessing, i.e. processing the image information without deciding about the identity of the image
46Extraction of features or characteristics of the image
468related to a structural representation of the pattern
469Graphical representation, e.g. directed attributed graph
Déposants
  • 芝浦メカトロニクス株式会社 SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 林 義典 HAYASHI, Yoshinori [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 若葉 博之 WAKABA, Hiroshi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 宮園 浩一 MIYAZONO, Koichi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 小野 洋子 ONO, Yoko [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 森 秀樹 MORI, Hideki [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • 林 義典 HAYASHI, Yoshinori
  • 若葉 博之 WAKABA, Hiroshi
  • 宮園 浩一 MIYAZONO, Koichi
  • 小野 洋子 ONO, Yoko
  • 森 秀樹 MORI, Hideki
Mandataires
  • 樋口 正樹 HIGUCHI, Masaki
Données relatives à la priorité
2007-31408805.12.2007JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) FEATURE ANALYZING APPARATUS
(FR) APPAREIL D'ANALYSE DE CARACTÉRISTIQUES
(JA) 特徴解析装置
Abrégé
(EN)
[PROBLEMS] A feature analyzing apparatus is provided which allows the features of a subject to be visually determined and which can provide a less limitation of flexibility of a classification based on the features. [MEANS FOR PROBLEMS] There are included a means for acquiring check information of a subject (S1) and an arrangement comprising the steps of analyzing the check information to determine values of feature parameters in respective ones of a plurality of layers (S2-S5); generating, based on each of the feature parameter values and a corresponding direction, a single parameter vector for a respective one of the plurality of layers (S2-S5); converting the parameter vectors to layer vectors that are three-dimensional vectors in a predetermined three-dimensional space (S2-S5); and coupling, in the order of the plurality of layers, the layer vectors obtained for the respective layers to generate, as feature information of the subject, the set of coordinate values, in the three-dimensional space, of a plurality of nodes obtained by the foregoing coupling (S6).
(FR)
L'invention concerne un appareil d'analyse de caractéristiques qui permet aux caractéristiques d'un objet d'être visuellement déterminées et qui peut fournir une limitation moindre de la flexibilité d'une classification basée sur les caractéristiques. À cet effet, sont inclus des moyens pour acquérir des informations de vérification d'un sujet (S1) et un agencement comprenant les étapes d'analyse des informations de vérification pour déterminer des valeurs de paramètres de caractéristique dans des couches respectives d'une pluralité de couches (S2-S5) ; de génération, sur la base de chacune des valeurs de paramètre de caractéristique et d'une direction correspondante, d'un vecteur de paramètre unique pour une couche respective de la pluralité de couches (S2-S5) ; de conversion des vecteurs de paramètre en vecteurs de couche qui sont des vecteurs tridimensionnels dans un espace tridimensionnel prédéterminé (S2-S5) ; et de couplage, dans l'ordre de la pluralité de couches, des vecteurs de couche obtenus pour les couches respectives pour générer, en tant qu'informations de caractéristique du sujet, l'ensemble de valeurs de coordonnées, dans l'espace tridimensionnel, d'une pluralité de nœuds obtenus par le couplage précédent (S6).
(JA)
【課題】検査体の特徴を視覚的に確認でき、特徴に基づいた分類の自由度の制限を比較的少なくすることのできる特徴解析装置を提供するものである。 【解決手段】検査体の検査体情報を取得する手段(S1)と、前記検査情報を解析して、複数の階層のそれぞれにおける特徴パラメータの値を決定し(S2~S5)、複数の階層のそれぞれに対して、複数の特徴パラメータそれぞれの値と対応する方向とに基づいて単一のパラメータベクトルを生成し(S2~S5)、前記パラメータベクトルを所定の3次元空間における3次元ベクトルである階層ベクトルに変換し(S2~S5)、前記複数の階層に対して得られた複数の階層ベクトルを当該階層の順番に連結して得られる複数の節の前記3次元空間における座標値の組を前記検査体の特徴情報として生成する(S6)構成となる。
Également publié en tant que
DE1120080033374
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