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1. (WO2008044340) DISPOSITIF DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/044340    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/051953
Date de publication : 17.04.2008 Date de dépôt international : 05.02.2007
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01)
Déposants : IHI Corporation [JP/JP]; 1-1, Toyosu 3-chome Koto-ku, Tokyo 1358710 (JP) (Tous Sauf US).
HIRATA, Kensuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MIZUNO, Tomoo [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HIRATA, Kensuke; (JP).
MIZUNO, Tomoo; (JP)
Mandataire : SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-274360 05.10.2006 JP
Titre (EN) SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS
(FR) DISPOSITIF DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送装置
Abrégé : front page image
(EN)A substrate processing apparatus is provided with a transfer section for transferring substrates one by one, and a buffer section, which is arranged at the middle of a transfer path formed by the transfer section, for having the substrates being transferred by the transfer section temporarily stay and for carrying out the substrates. The buffer section is provided with a substrate cassette for storing a plurality of substrates at multiple stages in the horizontal posture, and a substrate carry in/out section for receiving and transferring the substrates between the substrate cassette and the transfer section. As a result, stop of substratetransfer on the transfer path is suppressed.
(FR)L'appareil de traitement de substrat selon l'invention comporte une section de transfert servant à transférer des substrats les uns après les autres, et une section tampon qui est disposée au milieu du trajet de transfert constitué par la section de transfert afin que les substrats transférés par la section de transfert restent temporairement et pour sortir les substrats de l'appareil. La section tampon comporte une cassette de substrats servant à entreposer une pluralité de substrats sur plusieurs étages en position horizontale, et une section d'entrée et de sortie de substrats servant à recevoir et à transférer les substrats entre la cassette de substrats et la section de transfert. Cela permet de supprimer l'arrêt du transfert de substrat sur le trajet de transfert.
(JA) この基板処理装置は、基板を枚葉搬送する搬送部と、この搬送部によって形成される搬送経路の途中部位に設置されるとともに上記搬送部によって搬送される基板を一時的に溜めてから搬出するバッファ部とを備え、このバッファ部は、複数の基板を水平姿勢にて収納可能な収納部を多段に備える基板カセットと、任意の収納部にアクセス可能であるとともに基板カセットと搬送部との間において基板の受け渡しを行う基板搬入出部とを備える。その結果、搬送経路上における基板の搬送の停止が抑制される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)