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1. WO2008007326 - TRANSPONDEUR ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN TRANSPONDEUR

Numéro de publication WO/2008/007326
Date de publication 17.01.2008
N° de la demande internationale PCT/IB2007/052688
Date du dépôt international 09.07.2007
CIB
H01L 21/56 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
50Assemblage de dispositifs à semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par l'un uniquement des groupes H01L21/06-H01L21/326185
56Capsulations, p.ex. couches de capsulation, revêtements
H01L 21/60 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
50Assemblage de dispositifs à semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par l'un uniquement des groupes H01L21/06-H01L21/326185
60Fixation des fils de connexion ou d'autres pièces conductrices, devant servir à conduire le courant vers le ou hors du dispositif pendant son fonctionnement
G06K 19/077 2006.01
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
KRECONNAISSANCE DES DONNÉES; PRÉSENTATION DES DONNÉES; SUPPORTS D'ENREGISTREMENT; MANIPULATION DES SUPPORTS D'ENREGISTREMENT
19Supports d'enregistrement pour utilisation avec des machines et avec au moins une partie prévue pour supporter des marques numériques
06caractérisés par le genre de marque numérique, p.ex. forme, nature, code
067Supports d'enregistrement avec des marques conductrices, des circuits imprimés ou des éléments de circuit à semi-conducteurs, p.ex. cartes d'identité ou cartes de crédit
07avec des puces à circuit intégré
077Détails de structure, p.ex. montage de circuits dans le support
CPC
G06K 19/0775
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
KRECOGNITION OF DATA; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
19Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
06characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
067Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards ; also with resonating or responding marks without active components
07with integrated circuit chips
077Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier
07749the record carrier being capable of non-contact communication, e.g. constructional details of the antenna of a non-contact smart card
0775arrangements for connecting the integrated circuit to the antenna
H01L 2224/02379
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2224Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
023Redistribution layers [RDL] for bonding areas
0237Disposition of the redistribution layers
02379Fan-out arrangement
H01L 2224/05001
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2224Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
05of an individual bonding area
05001Internal layers
H01L 2224/05022
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2224Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
05of an individual bonding area
05001Internal layers
0502Disposition
05022the internal layer being at least partially embedded in the surface
H01L 2224/05548
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2224Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
05of an individual bonding area
0554External layer
05541Structure
05548Bonding area integrally formed with a redistribution layer on the semiconductor or solid-state body
H01L 2224/05572
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2224Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
05of an individual bonding area
0554External layer
0556Disposition
05571the external layer being disposed in a recess of the surface
05572the external layer extending out of an opening
Déposants
  • NXP B.V. (AllExceptUS)
  • ROGY, Reinhard [AT]/[AT] (UsOnly)
  • ZENZ, Christian [AT]/[AT] (UsOnly)
Inventeurs
  • ROGY, Reinhard
  • ZENZ, Christian
Mandataires
  • RÖGGLA, Harald
Données relatives à la priorité
06116893.610.07.2006EP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) TRANSPONDER AND METHOD OF PRODUCING A TRANSPONDER
(FR) TRANSPONDEUR ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN TRANSPONDEUR
Abrégé
(EN)
In a method of producing a transponder (1) an integrated circuit (2, 72, 82) is produced. The integrated circuit (2, 72, 82) is produced by applying a photoresist layer (11) on a surface (8) of a semiconductor device (4), generating a patterned mask (14) by lithographically patterning the photoresist layer (11) so that the photoresist layer (11) comprises at least one aperture (12, 13), and filling the aperture (12, 13) with a bump (15, 16, 75, 76) by depositing the bump (15, 16, 75, 76) on the surface (8) utilizing the patterned mask (14). Finally, the integrated circuit (2, 72, 82), with the patterned mask (14), is attached to a substrate (3), which comprises an antenna structure (18). The bump (15, 16, 75, 76) is connected electrically to the antenna structure (18).
(FR)
La présente invention concerne un procédé permettant de produire un transpondeur (1), qui consiste à fabriquer un circuit intégré (2, 72, 82). La production du circuit intégré (2, 72, 82) consiste : à appliquer une couche de photorésine (11) sur une surface (8) d'un dispositif semi-conducteur (4); à générer un masque à motifs (14) en formant par lithographie des motifs sur la couche de photorésine (11), de façon que cette dernière soit dotée d'au moins une ouverture (12, 13); et à remplir ladite ouverture (12, 13) avec une bosse (15, 16, 75, 76), en déposant ladite bosse (15, 16, 75, 76) sur la surface (8) à l'aide du masque à motifs (14). Enfin, le procédé selon l'invention consiste à fixer le circuit intégré (2, 72, 82) doté du masque à motifs (14) sur un substrat (3) possédant une structure d'antenne (18), et à relier électriquement la bosse (15, 16, 75, 76) à la structure d'antenne (18).
Également publié en tant que
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