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1. WO2007149282 - DISPOSITIF DE COMMANDE DE LA BANDE PASSANTE

Numéro de publication WO/2007/149282
Date de publication 27.12.2007
N° de la demande internationale PCT/US2007/013875
Date du dépôt international 11.06.2007
CIB
H01S 3/22 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
SDISPOSITIFS UTILISANT LE PROCÉDÉ D'AMPLIFICATION DE LA LUMIÈRE PAR ÉMISSION STIMULÉE DE RAYONNEMENT POUR AMPLIFIER OU GÉNÉRER DE LA LUMIÈRE; DISPOSITIFS UTILISANT L’ÉMISSION STIMULÉE DE RAYONNEMENT ÉLECTROMAGNÉTIQUE DANS DES GAMMES D’ONDES AUTRES QU'OPTIQUES
3Lasers, c. à d. dispositifs utilisant l'émission stimulée de rayonnement électromagnétique dans la gamme de l’infrarouge, le visible ou l’ultraviolet
14caractérisés par le matériau utilisé comme milieu actif
22à gaz
CPC
H01S 3/03
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
02Constructional details
03of gas laser discharge tubes
H01S 3/034
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
02Constructional details
03of gas laser discharge tubes
034Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
H01S 3/08009
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
08Construction or shape of optical resonators or components thereof
08004incorporating a dispersive element, e.g. a prism for wavelength selection
08009using a diffraction grating
H01S 3/137
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
13Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency, amplitude
136by controlling a device placed within the cavity
137for stabilising of frequency
H01S 3/225
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
14characterised by the material used as the active medium
22Gases
223the active gas being polyatomic, i.e. containing more than one atom
225comprising an excimer or exciplex
H01S 3/2256
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
14characterised by the material used as the active medium
22Gases
223the active gas being polyatomic, i.e. containing more than one atom
225comprising an excimer or exciplex
2256KrF, i.e. krypton fluoride is comprised for lasing around 248 nm
Déposants
  • CYMER, INC. [US/US]; 17075 Thommint court San Diego, CA 92127-2413, US (AllExceptUS)
  • FOMENKOV, Igor, V. [US/US]; US (UsOnly)
  • PARTLO, William, N. [US/US]; US (UsOnly)
  • REILEY, Daniel, J. [US/US]; US (UsOnly)
  • HOWEY, James, K. [US/US]; US (UsOnly)
  • AGULIAR, Stanley, C. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • FOMENKOV, Igor, V.; US
  • PARTLO, William, N.; US
  • REILEY, Daniel, J.; US
  • HOWEY, James, K.; US
  • AGULIAR, Stanley, C.; US
Mandataires
  • CRAY, William, C.; Cymer, Inc. Legal Department, MS/4-2C 17075 Thommint Court San Diego, CA 92127-2413, US
Données relatives à la priorité
11/472,08821.06.2006US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) BANDWIDTH CONTROL DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE COMMANDE DE LA BANDE PASSANTE
Abrégé
(EN)
A method and apparatus is disclosed for operating a laser output light beam pulse line narrowing mechanism that may comprise a nominal center wavelength and bandwidth selection optic; a static wavefront compensation mechanism shaping the curvature of the selection optic; an active wavefront compensation mechanism shaping the curvature of the selection optic and operating independently of the static wavefront compensation mechanism. The method and apparatus may comprise the nominal center wavelength and bandwidth selection optic comprises a grating; the static wavefront compensation mechanism applies a pre-selected bending moment to the grating; the active wavefront compensation mechanism applies a separate selected bending moment to the grating responsive to the control of a bending moment controller based on bandwidth feedback from a bandwidth monitor monitoring the bandwidth of the laser output light beam pulses. The active wavefront compensation mechanism may comprise a pneumatic drive mechanism.
(FR)
L'invention concerne un procédé et un dispositif d'utilisation d'un mécanisme réducteur de ligne d'impulsion de faisceau lumineux de sortie laser pouvant comporter une optique de sélection de longueur d'onde et de bande passante de centre nominal; un mécanisme de compensation de front d'onde statique façonnant la courbure de l'optique de sélection; et un mécanisme de compensation de front d'onde actif façonnant la courbure de l'optique de sélection et fonctionnant indépendamment du mécanisme de compensation de front d'onde statique. Selon l'invention, l'optique de sélection de longueur d'onde et de bande passante de centre nominal comporte un réseau de diffraction. Selon ledit procédé, le mécanisme de compensation de front d'onde statique applique un moment de flexion présélectionné au réseau de diffraction; et le mécanisme de compensation de front d'onde actif applique un moment de flexion sélectionné, séparé, au réseau de diffraction, en réponse à la commande d'un dispositif de commande de moment de flexion sur la base de la rétroaction de bande passante d'un contrôleur de bande passante contrôlant la bande passante des impulsions de faisceau lumineux de sortie laser. Le mécanisme de compensation de front d'onde actif peut comporter un mécanisme d'entraînement pneumatique.
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