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1. (WO2007148574) AGENT DE DÉCAPAGE DE RESIST
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/148574    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/061867
Date de publication : 27.12.2007 Date de dépôt international : 13.06.2007
CIB :
G03F 7/42 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : IDEMITSU KOSAN CO., LTD. [JP/JP]; 1-1, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008321 (JP) (Tous Sauf US).
SHIRAKI, Yasushi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
FUJIOKA, Toyozo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MATSUO, Shigeru [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIRAKI, Yasushi; (JP).
FUJIOKA, Toyozo; (JP).
MATSUO, Shigeru; (JP)
Mandataire : WATANABE, Kihei; Shibashin Kanda Bldg. 3rd Floor, 26, Kanda Suda-cho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010041 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-171784 21.06.2006 JP
2006-283622 18.10.2006 JP
Titre (EN) RESIST STRIPPING AGENT
(FR) AGENT DE DÉCAPAGE DE RESIST
(JA) レジスト剥離剤
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a resist stripping agent which has excellent stripping properties, which has no flammability and therefore is safe, and which does not cause corrosion of a conductive material and therefore has excellent anti-corrosion properties. The resist stripping agent comprises a compound represented by the formula (1). (1) wherein R3 represents an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, and R1 and R2 independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms which may have an ether bond.
(FR)L'invention concerne un agent de décapage de resist présentant d'excellentes propriétés de décapage. Cet agent n'est pas inflammable, et par conséquent il est sûr. Il ne provoque pas de corrosion d'une matière conductrice et par conséquent présente d'excellentes propriétés anticorrosion. Cet agent de décapage de résiste comprend un composé de formule (1). Dans cette formule, R3 désigne un groupe alkyle présentant 1 à 18 atomes de carbone, et R1 et R2 désignent indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe d'hydrocarbures présentant un à six atomes de carbone qui peuvent présenter une liaison éther.
(JA)not available
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)