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1. WO2007147826 - SYSTÈME DE TRAITEMENT DE DISPOSITION

Numéro de publication WO/2007/147826
Date de publication 27.12.2007
N° de la demande internationale PCT/EP2007/056091
Date du dépôt international 19.06.2007
CIB
G06F 17/50 2006.01
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
FTRAITEMENT ÉLECTRIQUE DE DONNÉES NUMÉRIQUES
17Équipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des fonctions spécifiques
50Conception assistée par ordinateur
G03F 1/14 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
1Originaux pour la production par voie photomécanique de surfaces texturées, p.ex. masques, photomasques ou réticules; Masques vierges ou pellicules à cet effet; Réceptacles spécialement adaptés à ces originaux; Leur préparation
14Originaux caractérisés par des détails de structure, p.ex. supports, couches de recouvrement, anneaux pelliculaires
G06F 17/10 2006.01
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
FTRAITEMENT ÉLECTRIQUE DE DONNÉES NUMÉRIQUES
17Équipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des fonctions spécifiques
10Opérations mathématiques complexes
CPC
G06F 30/39
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
30Computer-aided design [CAD]
30Circuit design
39Circuit design at the physical level
G06F 30/398
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
30Computer-aided design [CAD]
30Circuit design
39Circuit design at the physical level
398Design verification or optimisation, e.g. using design rule check [DRC], layout versus schematics [LVS] or finite element methods [FEM]
Déposants
  • SAGANTEC ISRAEL LTD; P.O. Box 117 3 Hayozma Street 39100 Tirat Carmel, IL (AllExceptUS)
  • ARKHIPOV, Alexandre Anatolievich [US/US]; US (UsOnly)
  • BELENKY, Yefim [US/US]; US (UsOnly)
  • BERKENS, Martinus Maria [NL/NL]; NL (UsOnly)
  • KARKLIN, Linard [US/US]; US (UsOnly)
  • LAY, Kuang-Hao [CN/US]; US (UsOnly)
  • STROLENBERG, Christinus Werner Hubertus [NL/NL]; NL (UsOnly)
  • WILLEKENS, Jeroen Pieter Frank [NL/NL]; NL (UsOnly)
Inventeurs
  • ARKHIPOV, Alexandre Anatolievich; US
  • BELENKY, Yefim; US
  • BERKENS, Martinus Maria; NL
  • KARKLIN, Linard; US
  • LAY, Kuang-Hao; US
  • STROLENBERG, Christinus Werner Hubertus; NL
  • WILLEKENS, Jeroen Pieter Frank; NL
Mandataires
  • DELTAPATENTS B.V.; Fellenoord 370 NL-5611 ZL Eindhoven, NL
Données relatives à la priorité
60/816,11323.06.2006US
60/833,14125.07.2006US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) LAYOUT PROCESSING SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE DISPOSITION
Abrégé
(EN)
A layout processing system for adapting an integrated circuit layout having integrated circuit objects constituting an integrated circuit, to obtain a process corrected layout which is a representation of the integrated circuit layout substantially corrected for local process variations in a manufacturing process The layout processing system comprises an equation adapter module for adapting a set of equations to obtain an adapted set of equations. Each equation in the set of equations comprises a mathematical representation of a design rule applied to groups of integrated circuit objects. The equation adapter module adapts of the set of equations those equations associated with a local process value The local process values represent local discrepancies between an object of a printable circuit layout that is manufacture able by the manufacturing process and a corresponding object of a printed image layout resulting from applying the manufacturing process to the printable circuit layout.
(FR)
La présente invention concerne un système de traitement de disposition pour adapter une disposition de circuit intégré ayant des objets de circuit intégré constituant un circuit intégré, pour obtenir une disposition corrigée de traitement, une représentation de la disposition du circuit intégré étant sensiblement corrigée pour les variations de traitement local dans un procédé de fabrication. Le système de traitement de disposition comprend un module adaptateur d'équation pour adapter un ensemble d'équations afin d'obtenir un ensemble adapté d'équations. Chaque équation de l'ensemble d'équations comprend une représentation mathématique d'une règle de conception appliquée aux groupes d'objets de circuit intégré. Le module adaptateur d'équation adapte le jeu d'équations associées à une valeur de traitement local. Les valeurs de traitement local représentent les divergences locales entre un objet d'une disposition de circuit imprimable qui peut être fabriqué par le procédé de fabrication et un objet correspondant d'une disposition d'image imprimée naissant de l'application du procédé de fabrication sur la disposition du circuit imprimable.
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