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Paramétrages

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1. WO2007147241 - NANO-POSITIONNEURS ET NANO-MANIPULATEURS À BASE MEMS

Numéro de publication WO/2007/147241
Date de publication 27.12.2007
N° de la demande internationale PCT/CA2007/001092
Date du dépôt international 21.06.2007
CIB
B81C 1/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
CPROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
B81B 3/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
B82B 3/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
82NANOTECHNOLOGIE
BNANOSTRUCTURES FORMÉES PAR MANIPULATION D’ATOMES, DE MOLÉCULES OU D’ENSEMBLES LIMITÉS D’ATOMES OU DE MOLÉCULES UN À UN COMME DES UNITÉS INDIVIDUELLES; LEUR FABRICATION OU LEUR TRAITEMENT
3Fabrication ou traitement des nanostructures par manipulation d’atomes ou de molécules, ou d’ensembles limités d’atomes ou de molécules un à un comme des unités individuelles
CPC
B25J 7/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
7Micromanipulators
B25J 9/0015
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
9Programme-controlled manipulators
0009Constructional details, e.g. manipulator supports, bases
0015Flexure members, i.e. parts of manipulators having a narrowed section allowing articulation by flexion
Déposants
  • SUN, Yu [CN/CA]; CA
  • LIU, Xinyu [CN/CA]; CA
Inventeurs
  • SUN, Yu; CA
  • LIU, Xinyu; CA
Mandataires
  • DE FAZEKAS, Anthony; Miller Thomson LLP Scotia Plaza 40 King Street West Suite 5800, P.O. Box 1011 Toronto, Ontario M5H 3S1, CA
Données relatives à la priorité
2,551,19423.06.2006CA
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MEMS-BASED NANOPOSITIONERS AND MANO MANIPULATORS
(FR) NANO-POSITIONNEURS ET NANO-MANIPULATEURS À BASE MEMS
Abrégé
(EN)
A MEMS-based mano manipulator or nanopositioner is provided that can achieve both sub-nanometer resolution and millimeter force output. The nanomanipulator or nanopositioner comprises a linear amplification mechanism that minifies input displacements and amplifies input forces, microactuators that drive the amplification mechanism to generate forward and backward motion, and position sensors that measure the input displacement of the amplification mechanism. The position sensors obtain position feedback enabling precise closed-loop control during nanomanipulation.
(FR)
La présente invention concerne un nano-manipulateur ou nano-positionneur à base MEMS qui peut réaliser une résolution sub-nanométrique et une sortie de force millimétrique. Le nano-manipulateur ou nano-positionneur comprend un mécanisme d'amplification linéaire qui réduit les déplacements d'entrée et amplifie les forces d'entrée, des micro-actionneurs qui entraînent le mécanisme d'amplification pour générer un mouvement vers l'avant et vers l'arrière, et des capteurs de position qui mesurent le déplacement d'entrée du mécanisme d'amplification. Les capteurs de position obtiennent un retour d'information de position qui permet une commande en boucle fermée précise au cours de la nano-manipulation.
Également publié en tant que
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