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1. (WO2007146322) appareil analyseur magnétique et procédé d'implantation ionique
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/146322    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/013850
Date de publication : 21.12.2007 Date de dépôt international : 13.06.2007
CIB :
H01J 37/00 (2006.01)
Déposants : SEMEQUIP, INC. [US/US]; 34 Sullivan Road, Unit 21, Billerica, MA 01862 (US) (Tous Sauf US).
GLAVISH, Hilton, F. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : GLAVISH, Hilton, F.; (US)
Mandataire : PANIAGUAS, John, S.; KATTEN MUCHIN ROSENMAN LLP, 1025 THOMAS JEFFERSON STREET, N.W., East Lobby: Suite 700, Washington, DC 20007-5201 (US)
Données relatives à la priorité :
60/804,639 13.06.2006 US
Titre (EN) MAGNETIC ANALYZER APPARATUS AND METHOD FOR ION IMPLANTATION
(FR) appareil analyseur magnétique et procédé d'implantation ionique
Abrégé : front page image
(EN)In a magnetic analysis apparatus, high voltage insulation (86, 94) isolates the magnet excitation coil (40), power leads (90) and cooling fluid lines (92) from the ferromagnetic assembly (26, 28, 30, 32, 34) of a sector magnet, and the coil power supply is disposed in a grounded housing (E). A sleeve (94), containing electrical power leads and cooling fluid lines, forms an insulator through the magnet assembly to the coil (40) and the coil is surrounded by electrical insulation providing electrical isolation from the magnet assembly of least 20 KV. The excitation coil comprises alternating coil segments (80) and cooling plates (82) within an impervious cocoon (86) of insulating material of at least 6mm thickness. Yoke and core members (20, 30, 32, 34) of the magnet assembly are disposed outside of the vacuum housing (20) while pole members (28) extend through and are sealed to walls of the vacuum housing. An ion decelerator (60, 61, 62) is in a housing extension at the same voltage potential as the mass analyzer housing.
(FR)Dans un appareil d'analyse magnétique, une isolation haute tension (86, 94) isole la bobine d'excitation à aimant (40), les fils d'alimentation (90) et les circuits de fluide de refroidissement (92) de l'ensemble ferromagnétique (26, 28, 30, 32, 34) d'un aimant de secteur, et l'alimentation de bobine est disposée dans un logement mis à la masse (E). Un manchon (94), contenant des fils d'alimentation électrique et des circuits de fluide de refroidissement, forme un isolateur à travers l'ensemble aimant vers la bobine (40) et la bobine est entourée par un système d'isolation électrique assurant l'isolation électrique de l'ensemble aimant d'au moins 20 KV. La bobine d'excitation comprend des segments de bobine alternatifs (80) et des plaques de refroidissement (82) dans un cocon imperméable (86) de matériau isolant d'au moins 6mm d'épaisseur. Des éléments d'étrier et de noyau (20, 30, 32, 34) de l'ensemble aimant sont disposés à l'extérieur du logement à dépression (20) tandis que des éléments de pôle (28) s'étendent à travers les parois du logement à dépression et sont scellés à celles-ci. Un décélérateur ionique (60, 61, 62) est dans une extension de logement avec le même potentiel de tension que le logement analyseur de masse.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)