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Paramétrages

Paramétrages

1. WO2007146322 - appareil analyseur magnétique et procédé d'implantation ionique

Numéro de publication WO/2007/146322
Date de publication 21.12.2007
N° de la demande internationale PCT/US2007/013850
Date du dépôt international 13.06.2007
CIB
H01J 37/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
CPC
G01R 33/0213
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
0213using deviation of charged particles by the magnetic field
G01R 33/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
12Measuring magnetic properties of articles or specimens of solids or fluids
Déposants
  • SEMEQUIP, INC. [US/US]; 34 Sullivan Road, Unit 21 Billerica, MA 01862, US (AllExceptUS)
  • GLAVISH, Hilton, F. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • GLAVISH, Hilton, F.; US
Mandataires
  • PANIAGUAS, John, S.; KATTEN MUCHIN ROSENMAN LLP 1025 THOMAS JEFFERSON STREET, N.W. East Lobby: Suite 700 Washington, DC 20007-5201, US
Données relatives à la priorité
60/804,63913.06.2006US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MAGNETIC ANALYZER APPARATUS AND METHOD FOR ION IMPLANTATION
(FR) appareil analyseur magnétique et procédé d'implantation ionique
Abrégé
(EN)
In a magnetic analysis apparatus, high voltage insulation (86, 94) isolates the magnet excitation coil (40), power leads (90) and cooling fluid lines (92) from the ferromagnetic assembly (26, 28, 30, 32, 34) of a sector magnet, and the coil power supply is disposed in a grounded housing (E). A sleeve (94), containing electrical power leads and cooling fluid lines, forms an insulator through the magnet assembly to the coil (40) and the coil is surrounded by electrical insulation providing electrical isolation from the magnet assembly of least 20 KV. The excitation coil comprises alternating coil segments (80) and cooling plates (82) within an impervious cocoon (86) of insulating material of at least 6mm thickness. Yoke and core members (20, 30, 32, 34) of the magnet assembly are disposed outside of the vacuum housing (20) while pole members (28) extend through and are sealed to walls of the vacuum housing. An ion decelerator (60, 61, 62) is in a housing extension at the same voltage potential as the mass analyzer housing.
(FR)
Dans un appareil d'analyse magnétique, une isolation haute tension (86, 94) isole la bobine d'excitation à aimant (40), les fils d'alimentation (90) et les circuits de fluide de refroidissement (92) de l'ensemble ferromagnétique (26, 28, 30, 32, 34) d'un aimant de secteur, et l'alimentation de bobine est disposée dans un logement mis à la masse (E). Un manchon (94), contenant des fils d'alimentation électrique et des circuits de fluide de refroidissement, forme un isolateur à travers l'ensemble aimant vers la bobine (40) et la bobine est entourée par un système d'isolation électrique assurant l'isolation électrique de l'ensemble aimant d'au moins 20 KV. La bobine d'excitation comprend des segments de bobine alternatifs (80) et des plaques de refroidissement (82) dans un cocon imperméable (86) de matériau isolant d'au moins 6mm d'épaisseur. Des éléments d'étrier et de noyau (20, 30, 32, 34) de l'ensemble aimant sont disposés à l'extérieur du logement à dépression (20) tandis que des éléments de pôle (28) s'étendent à travers les parois du logement à dépression et sont scellés à celles-ci. Un décélérateur ionique (60, 61, 62) est dans une extension de logement avec le même potentiel de tension que le logement analyseur de masse.
Également publié en tant que
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