Traitement en cours

Veuillez attendre...

Paramétrages

Paramétrages

1. WO2007144666 - Méthode de contrôle de la contamination d'une surface

Numéro de publication WO/2007/144666
Date de publication 21.12.2007
N° de la demande internationale PCT/GB2007/050298
Date du dépôt international 25.05.2007
CIB
G03F 7/20 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20Exposition; Appareillages à cet effet
CPC
G03F 7/70916
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
708Construction of apparatus, e.g. environment, hygiene aspects or materials
70908Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution, removing pollutants from apparatus; electromagnetic and electrostatic-charge pollution
70916Pollution mitigation, i.e. mitigating effect of contamination or debris, e.g. foil traps
G03F 7/70925
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
708Construction of apparatus, e.g. environment, hygiene aspects or materials
70908Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution, removing pollutants from apparatus; electromagnetic and electrostatic-charge pollution
70925Cleaning, i.e. actively freeing apparatus from pollutants
Déposants
  • EDWARDS LIMITED [GB/GB]; Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW, GB (AllExceptUS)
  • CAMBRIDGE ENTERPRISE LIMITED [GB/GB]; The Old Schools Trinity Lane Cambridge Cambs CB2 1TN, GB (AllExceptUS)
  • GRANT, Robert Bruce [GB/GB]; GB (UsOnly)
  • LAMBERT, Richard [GB/GB]; GB (UsOnly)
  • DAVIS, David Jonathan [GB/GB]; GB (UsOnly)
  • KYRIAKOU, Georgios [GR/GB]; GB (UsOnly)
Inventeurs
  • GRANT, Robert Bruce; GB
  • LAMBERT, Richard; GB
  • DAVIS, David Jonathan; GB
  • KYRIAKOU, Georgios; GB
Mandataires
  • CLARK, Charles, Robert; Edwards Limited Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW, GB
Données relatives à la priorité
0611648.713.06.2006GB
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD OF CONTROLLING CONTAMINATION OF A SURFACE
(FR) Méthode de contrôle de la contamination d'une surface
Abrégé
(EN)
A method is described of controlling contamination of a surface exposed to a carbonaceous material and ionising radiation, such as EUV radiation, DUV radiation or electrons. The method comprises cyclically supplying to the surface a first gas comprising an oxidising species, for example NO, for reacting with carbonaceous deposits formed on the surface from the carbonaceous material, followed by a second gas comprising a reducing species, for example CO, for reacting with oxidising species on the surface.
(FR)
L'invention concerne une méthode de contrôle de la contamination d'une surface exposée à un matériau carboné et des radiations ionisantes, telles que des radiations UV extrêmes, des radiations UV dangereuses ou des électrons. La méthode consiste à fournir de manière périodique à la surface un premier gaz comprenant des matériaux oxydants, par exemple du NO, qui réagit avec les dépôts carbonés formés à la surface par le produit carboné, suivi par un second gaz comprenant un élément réducteur, par exemple du CO, réagissant avec les éléments oxydants déposés sur la surface.
Également publié en tant que
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international