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Paramétrages

Paramétrages

1. WO2007144452 - COMPOSITIONS DE POLYMÈRES HYBRIDES INORGANIQUES-ORGANIQUES POUR REVÊTEMENTS ANTI-RÉFLÉCHISSANTS

Numéro de publication WO/2007/144452
Date de publication 21.12.2007
N° de la demande internationale PCT/FI2007/000166
Date du dépôt international 13.06.2007
CIB
C09B 67/00 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
09COLORANTS; PEINTURES; PRODUITS À POLIR; RÉSINES NATURELLES; ADHÉSIFS; COMPOSITIONS NON PRÉVUES AILLEURS; UTILISATIONS DE SUBSTANCES, NON PRÉVUES AILLEURS
BCOLORANTS ORGANIQUES OU COMPOSÉS ÉTROITEMENT APPARENTÉS POUR PRODUIRE DES COLORANTS; MORDANTS; LAQUES
67Traitements, sans réaction chimique, influençant les propriétés physiques, p.ex. de teintures ou d'impression, des matières colorantes, p.ex. traitement par des solvants; Caractéristiques du procédé de fabrication des préparations tinctoriales; Préparations tinctoriales ayant un aspect physique particulier, p.ex. tablettes, feuilles
C08K 3/34 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
08COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES ORGANIQUES; LEUR PRÉPARATION OU LEUR MISE EN UVRE CHIMIQUE; COMPOSITIONS À BASE DE COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES
KEMPLOI COMME ADJUVANTS DE SUBSTANCES NON MACROMOLÉCULAIRES INORGANIQUES OU ORGANIQUES
3Emploi de substances inorganiques en tant qu'adjuvants
34Composés contenant du silicium
C08L 83/04 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
08COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES ORGANIQUES; LEUR PRÉPARATION OU LEUR MISE EN UVRE CHIMIQUE; COMPOSITIONS À BASE DE COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES
LCOMPOSITIONS CONTENANT DES COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES
83Compositions contenant des composés macromoléculaires obtenus par des réactions créant dans la chaîne principale de la macromolécule une liaison contenant uniquement du silicium, avec ou sans soufre, azote, oxygène ou carbone; Compositions contenant des dérivés de tels polymères
04Polysiloxanes
G03C 1/00 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
CMATÉRIAUX PHOTOSENSIBLES POUR LA PHOTOGRAPHIE; PROCÉDÉS PHOTOGRAPHIQUES, p.ex. PROCÉDÉS CINÉMATOGRAPHIQUES, AUX RAYONS X, EN COULEURS OU STÉRÉOPHOTOGRAPHIQUES; PROCÉDÉS AUXILIAIRES EN PHOTOGRAPHIE
1Matériaux photosensibles
G03F 9/00 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
9Mise en registre ou positionnement d'originaux, de masques, de trames, de feuilles photographiques, de surfaces texturées, p.ex. automatique
CPC
C08G 77/04
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
77Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
04Polysiloxanes
C09B 69/008
CCHEMISTRY; METALLURGY
09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BORGANIC DYES OR CLOSELY-RELATED COMPOUNDS FOR PRODUCING DYES ; , e.g. PIGMENTS; MORDANTS; LAKES
69Dyes not provided for by a single group of this subclass
008Dyes containing a substituent, which contains a silicium atom
C09B 69/10
CCHEMISTRY; METALLURGY
09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BORGANIC DYES OR CLOSELY-RELATED COMPOUNDS FOR PRODUCING DYES ; , e.g. PIGMENTS; MORDANTS; LAKES
69Dyes not provided for by a single group of this subclass
10Polymeric dyes; Reaction products of dyes with monomers or with macromolecular compounds
C09D 183/04
CCHEMISTRY; METALLURGY
09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
183Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Coating compositions based on derivatives of such polymers
04Polysiloxanes
G03F 7/0752
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
004Photosensitive materials
075Silicon-containing compounds
0752in non photosensitive layers or as additives, e.g. for dry lithography
G03F 7/091
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
004Photosensitive materials
09characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
091characterised by antireflection means or light filtering or absorbing means, e.g. anti-halation, contrast enhancement
Déposants
  • BRAGGONE OY [FI/FI]; Kaitoväylä 1 FI-90570 Oulu, FI (AllExceptUS)
  • KÄRKKÄINEN, Ari [FI/FI]; FI (UsOnly)
Inventeurs
  • KÄRKKÄINEN, Ari; FI
Mandataires
  • SEPPO LAINE OY; Itämerenkatu 3 B FI-00180 Helsinki, FI
Données relatives à la priorité
60/813,26613.06.2006US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) HYBRID INORGANIC-ORGANIC POLYMER COMPOSITIONS FOR ANTI-REFLECTIVE COATINGS
(FR) COMPOSITIONS DE POLYMÈRES HYBRIDES INORGANIQUES-ORGANIQUES POUR REVÊTEMENTS ANTI-RÉFLÉCHISSANTS
Abrégé
(EN)
An organic-inorganic silicone material, which has a backbone containing -Si-O- units with chromophore groups attached directly to at least a part of the silicon atoms. The film forming composition and resulting coating properties can be tailored to suit the specific exposure wavelength and device fabrication and design requirements. By using two different chromophores the refractive index and the absorption co-efficient can be efficiently tuned and a desired Si-content of the anti-reflective coating composition can be obtained - a high Si-content will give good mechanical and thermal properties and also the required wet etch and dry etch properties.
(FR)
La présente invention concerne un matériau de silicone organique-inorganique présentant un squelette contenant des motifs Si-O avec des groupes chromophores attachés directement à au moins une partie des atomes de silicium. La composition filmogène et les propriétés de revêtement résultantes peuvent être travaillées de façon à s'adapter aux conditions spécifiques de longueur d'onde d'exposition, de fabrication de dispositif et de conception. Lorsqu'on utilise deux chromophores différents, l'indice de réfraction et le coefficient d'absorption peuvent s'accorder de manière efficace, et il est possible d'obtenir une teneur en Si souhaitée de la composition de revêtement anti-réfléchissant, une teneur élevée en Si donnant de bonnes propriétés mécaniques et thermiques et également les propriétés requises de gravure humide et de gravure sèche.
Également publié en tant que
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