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Paramétrages

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1. WO2007143734 - INTERFACE UTILISATEUR POUR UN MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE

Numéro de publication WO/2007/143734
Date de publication 13.12.2007
N° de la demande internationale PCT/US2007/070650
Date du dépôt international 07.06.2007
CIB
G01N 23/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
23Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de rayonnement (ondes ou particules), p.ex. rayons X ou neutrons, non couvertes par les groupes G01N3/-G01N17/201
CPC
H01J 2237/1405
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
10Lenses
14magnetic
1405Constructional details
H01J 2237/162
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
16Vessels
162Open vessel, i.e. one end sealed by object or workpiece
H01J 2237/1825
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
18Vacuum control means
182Obtaining or maintaining desired pressure
1825Evacuating means
H01J 2237/188
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
18Vacuum control means
188Differential pressure
H01J 2237/2003
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
2002Controlling environment of sample
2003Environmental cells
H01J 2237/2006
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
2005Seal mechanisms
2006Vacuum seals
Déposants
  • FEI COMPANY [US/US]; 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, OR 97124-5793, US (AllExceptUS)
  • BIERHOFF, Mart Petrus Maria [NL/NL]; NL (UsOnly)
  • BUIJSSE, Bart [NL/NL]; NL (UsOnly)
  • KOOIJMAN, Cornelis Sander [NL/NL]; NL (UsOnly)
  • VAN LEEUWEN, Hugo [NL/NL]; NL (UsOnly)
  • TAPPEL, Hendrik Gezinus [NL/NL]; NL (UsOnly)
  • SANFORD, Colin August [US/US]; US (UsOnly)
  • STOKS, Sander Richard Marie [NL/NL]; NL (UsOnly)
  • BERGER, Steven [US/US]; US (UsOnly)
  • BORMANS, Ben Jacobus Marie [NL/NL]; NL (UsOnly)
  • DRIESSEN, Koen Arnoldus Wilhelmus [NL/NL]; NL (UsOnly)
  • PERSOON, Johannes Antonius Hendricus Wilhelmus Gerardus [NL/NL]; NL (UsOnly)
Inventeurs
  • BIERHOFF, Mart Petrus Maria; NL
  • BUIJSSE, Bart; NL
  • KOOIJMAN, Cornelis Sander; NL
  • VAN LEEUWEN, Hugo; NL
  • TAPPEL, Hendrik Gezinus; NL
  • SANFORD, Colin August; US
  • STOKS, Sander Richard Marie; NL
  • BERGER, Steven; US
  • BORMANS, Ben Jacobus Marie; NL
  • DRIESSEN, Koen Arnoldus Wilhelmus; NL
  • PERSOON, Johannes Antonius Hendricus Wilhelmus Gerardus; NL
Mandataires
  • SCHEINBERG, Michael, O.; P.O. Box 164140 Austin, TX 78716-4140, US
Données relatives à la priorité
60/811,62107.06.2006US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) USER INTERFACE FOR AN ELECTRON MICROSCOPE
(FR) INTERFACE UTILISATEUR POUR UN MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE
Abrégé
(EN)
A user interface for operation of a scanning electron microscope device that combines lower magnification reference images and higher magnification images on the same screen to make it easier for a user who is not used to the high magnification of electron microscopes to readily determine where on the sample an image is being obtained and to understand the relationship between that image and the rest of the sample. Additionally, other screens, such as, for example, an archive screen and a settings screen allow the user to compare saved images and adjust the settings of the system, respectively.
(FR)
L'invention concerne une interface utilisateur relative au fonctionnement d'un microscope électronique à balayage qui combine sur le même écran des images de référence à faible grandissement et des images à fort grandissement, de façon à rendre plus facile pour un utilisateur non habitué aux forts grandissements des microscopes électroniques la détermination rapide de l'endroit de l'échantillon d'où provient l'image et de comprendre la relation entre cette image et le reste de l'échantillon. De plus, d'autres écrans, tels que, par exemple, un écran d'archive et un écran de réglages permettent à l'utilisateur de comparer des images sauvegardées et d'effectuer les réglages du système, respectivement.
Également publié en tant que
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