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Paramétrages

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1. WO2007142395 - SOUPAPE À VANNE À DÉPRESSION

Numéro de publication WO/2007/142395
Date de publication 13.12.2007
N° de la demande internationale PCT/KR2006/005362
Date du dépôt international 08.12.2006
CIB
H01L 21/02 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
CPC
F16K 3/18
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
3Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
02with flat sealing faces; Packings therefor
16with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
18by movement of the closure members
F16K 3/30
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
3Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
30Details
F16K 51/02
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
51Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
02specially adapted for high-vacuum installations
Déposants
  • GLOBAL STANDARD TECHNOLOGY CO., LTD. [KR/KR]; 561-1 Namgok-ri Yangji-myeon, Cheoin-gu, Yongin-si Gyeonggi-do 449-821, KR (AllExceptUS)
  • CHO, Chang-Hyung [KR/KR]; KR (UsOnly)
  • LEE, Jong-Chan [KR/KR]; KR (UsOnly)
Inventeurs
  • CHO, Chang-Hyung; KR
  • LEE, Jong-Chan; KR
Mandataires
  • DYNE PATENT & LAW FIRM; C5, 7th Fl., Gyeonggi Small & Medium Business Center 906-5 Iui-dong, Yeongtong-gu, Suwon-si Gyeonggi-do 443-766, KR
Données relatives à la priorité
10-2006-005162408.06.2006KR
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt coréen (KO)
États désignés
Titre
(EN) VACUUM GATE VALVE
(FR) SOUPAPE À VANNE À DÉPRESSION
Abrégé
(EN)
The present invention relates to a vacuum gate valve which is mounted between a chamber and a vacuum pump and has a means for preventing a gas in the chamber from being brought into contact with an actuator of the vacuum gate valve when the gas is exhausted. A vacuum gate valve according to the present invention includes a valve casing formed with an inlet and an outlet, a valve plate installed to be moved forward/backward so as to open/close a flow of the fluid, and an actuator for moving the valve plate forward/backward. A hollow cylinder has one end hermetically fixed on the side of the outlet of the valve casing. A flange formed with a though-hole is hermitically fixed to the other end of the hollow cylinder. A bellows tube with an outer diameter smaller than an inner diameter of the hollow cylinder is inserted into and installed in the hollow cylinder while one end thereof is coupled to the flange. A piston cylinder has an outer diameter smaller than the inner diameter of the hollow cylinder and is inserted into and installed in the hollow cylinder while one end thereof is coupled to the other end of the bellows tube. The piston cylinder has the other end as a free end of which an outer peripheral surface is hermetically and slidably engaged with an inner peripheral surface of the hollow cylinder. The piston cylinder is provided with an annular pressure-receiving portion configured to extend from an outer peripheral surface of the piston cylinder and to be brought into close contact with the inner peripheral surface of the hollow cylinder.
(FR)
La présente invention concerne une soupape à vanne à dépression qui est montée entre une chambre et une pompe à vide et possède un moyen pour empêcher un gaz dans la chambre d'être mis en contact avec un actionneur de la soupape à vanne à dépression lorsque le gaz est sorti. Une soupape à vanne à dépression selon la présente invention comprend un carter de soupape formé avec une entrée et une sortie, une plaque porte-soupape installée pour être déplacée vers l'avant/vers l'arrière afin d'ouvrir/fermer un écoulement du fluide, et un actionneur pour déplacer la plaque porte-soupape vers l'avant/vers l'arrière. Un cylindre creux possède une extrémité fixée de façon hermétique sur le côté de la sortie du carter de soupape. Une bride formée avec un trou débouchant est fixée de façon hermétique à l'autre extrémité du cylindre creux. Un tube à soufflet avec un diamètre extérieur inférieur à un diamètre intérieur du cylindre creux est inséré dans et installé dans le cylindre creux alors qu'une extrémité de celui-ci est couplée à la bride. Un cylindre à piston possède un diamètre extérieur inférieur au diamètre intérieur du cylindre creux et est inséré dans et installé dans le cylindre creux alors qu'une extrémité de celui-ci est couplée à l'autre extrémité du tube à soufflet. L'autre extrémité du cylindre à piston est une extrémité libre dont une surface périphérique extérieure est en prise de façon hermétique et coulissante avec une surface périphérique intérieure du cylindre creux. Le cylindre à piston est pourvu d'une partie de réception de pression annulaire configurée pour s'étendre à partir d'une surface périphérique extérieure du cylindre à piston et pour être mise en contact avec la surface périphérique intérieure du cylindre creux.
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