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1. (WO2007139981) OUTIL LINÉAIREMENT DISTRIBUÉ DE TRAITEMENT DES PIÈCES À SEMICONDUCTEURS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/139981    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/012582
Date de publication : 06.12.2007 Date de dépôt international : 24.05.2007
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    19.12.2007    
CIB :
C23C 16/00 (2006.01)
Déposants : BROOKS AUTOMATION, INC. [US/US]; 15 Elizabeth Drive Chelmsford, MA 01824 (US) (Tous Sauf US).
HOLTKAMP, William [US/US]; (US) (US Seulement).
KREMERMAN, Izya [US/US]; (US) (US Seulement).
HOFFMEISTER, Christopher [US/US]; (US) (US Seulement).
PICKREIGN, Richard [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HOLTKAMP, William; (US).
KREMERMAN, Izya; (US).
HOFFMEISTER, Christopher; (US).
PICKREIGN, Richard; (US)
Mandataire : GREEN, Clarence, A.; Perman & Green, LLP 425 Post Road Fairfield, CT 06824 (US)
Données relatives à la priorité :
11/442,511 26.05.2006 US
Titre (EN) LINEARLY DISTRIBUTED SEMICONDUCTOR WORKPIECE PROCESSING TOOL
(FR) OUTIL LINÉAIREMENT DISTRIBUÉ DE TRAITEMENT DES PIÈCES À SEMICONDUCTEURS
Abrégé : front page image
(EN)A substrate processing apparatus includes a transport chamber capable of holding an isolated atmosphere therein and communicably connected to a charging station for loading and unloading a substrate into the apparatus, a transport system inside the transport chamber for transporting the substrate and an array of processing chamber modules distributed alongside the transport chamber and communicably connected to the transport chamber to allow the substrate to be transferred therebetween.
(FR)La présente invention concerne un appareil de traitement de substrats. Il comporte une chambre de transport qui est capable de renfermer une atmosphère confinée et qui communique avec un poste de chargement et déchargement des substrats dans l'appareil. La chambre de transport contient un système de transport servant au transport des substrats. Une rangée de modules de chambre de traitement est distribuée le long de la chambre de transport, en communication avec la chambre de transport de façon à permettre les transferts de substrats entre la rangée de modules et la chambre de transport.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)