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1. WO2007105817 - APPAREIL D'ENREGISTREMENT DE FAISCEAU ÉLECTRONIQUE

Numéro de publication WO/2007/105817
Date de publication 20.09.2007
N° de la demande internationale PCT/JP2007/055330
Date du dépôt international 12.03.2007
CIB
G11B 7/26 2006.01
GPHYSIQUE
11ENREGISTREMENT DE L'INFORMATION
BENREGISTREMENT DE L'INFORMATION BASÉ SUR UN MOUVEMENT RELATIF ENTRE LE SUPPORT D'ENREGISTREMENT ET LE TRANSDUCTEUR
7Enregistrement ou reproduction par des moyens optiques, p.ex. enregistrement utilisant un faisceau thermique de rayonnement optique, reproduction utilisant un faisceau optique à puissance réduite; Supports d'enregistrement correspondants
24Supports d’enregistrement caractérisés par la forme, la structure ou les propriétés physiques, ou par le choix du matériau
26Appareils ou procédés spécialement établis pour la fabrication des supports d'enregistrement
G11B 9/10 2006.01
GPHYSIQUE
11ENREGISTREMENT DE L'INFORMATION
BENREGISTREMENT DE L'INFORMATION BASÉ SUR UN MOUVEMENT RELATIF ENTRE LE SUPPORT D'ENREGISTREMENT ET LE TRANSDUCTEUR
9Enregistrement ou reproduction par un procédé ou des moyens non couverts par un des groupes principaux G11B3/-G11B7/155; Supports d'enregistrement correspondants
10utilisant un faisceau d'électrons; Supports d'enregistrement correspondants
G11B 11/03 2006.01
GPHYSIQUE
11ENREGISTREMENT DE L'INFORMATION
BENREGISTREMENT DE L'INFORMATION BASÉ SUR UN MOUVEMENT RELATIF ENTRE LE SUPPORT D'ENREGISTREMENT ET LE TRANSDUCTEUR
11Enregistrement sur, ou reproduction depuis le même support d'enregistrement, dans lesquels, pour ces deux opérations, les procédés ou les moyens sont couverts par différents groupes principaux des groupes G11B3/-G11B7/257; Supports d'enregistrement correspondants
03utilisant l'enregistrement par déformation produite par des moyens non mécaniques, p.ex. par laser, par faisceau de particules
CPC
G11B 11/03
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
11Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
03using recording by deforming with non-mechanical means, e.g. laser, beam of particles
G11B 7/261
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
7Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation ; by modifying optical properties or the physical structure; , reproducing using an optical beam at lower power ; by sensing optical properties; Record carriers therefor
24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
26Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
261Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
G11B 9/10
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
9Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
10using electron beam; Record carriers therefor
Déposants
  • RICOH COMPANY, LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • CRESTEC CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • OBARA, Takashi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • MIYAZAKI, Takeshi [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • OBARA, Takashi
  • MIYAZAKI, Takeshi
Mandataires
  • ITOH, Tadahiko
Données relatives à la priorité
2006-06797713.03.2006JP
2007-00504512.01.2007JP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) ELECTRON BEAM RECORDING APPARATUS
(FR) APPAREIL D'ENREGISTREMENT DE FAISCEAU ÉLECTRONIQUE
Abrégé
(EN)
An electron beam recording apparatus is disclosed that records information onto the surface of a sample by using an electron beam. The electron beam recording apparatus includes an electron source that irradiates the electron beam, a magnetic detector that is configured to move onto and out of an irradiation axis and acquires magnetic information on the irradiation axis, a convergence position control part that calculates a convergence position correction amount for correcting a convergence position of the electron beam with respect to the surface of the sample based on the magnetic information, and a convergence position adjusting part that adjusts the convergence position of the electron beam with respect to the surface of the sample. The convergence position control part causes the convergence position adjusting part to adjust the convergence position of the electron beam with respect to the surface of the sample based on the convergence position correction amount.
(FR)
L'invention concerne un appareil d'enregistrement de faisceau électronique qui enregistre des informations sur la surface d'un échantillon à l'aide d'un faisceau électronique. Ledit appareil d'enregistrement de faisceau électronique comprend une source d'électrons qui irradie le faisceau électronique; un détecteur magnétique configuré de façon à se déplacer sur ou en-dehors d'un axe d'irradiation et à acquérir des informations magnétiques sur l'axe d'irradiation; une partie de commande de position de convergence qui calcule une quantité de correction de position de convergence afin de corriger la position de convergence du faisceau électronique par rapport à la surface de l'échantillon en fonction des informations magnétiques; et une partie de réglage de position de convergence qui régle la position de convergence du faisceau électronique par rapport à la surface de l'échantillon. La partie de commande de position de convergence entraîne la partie de réglage de position de convergence à régler la position de convergence du faisceau électronique par rapport à la surface de l'échantillon en fonction de la quantité de correction de position de convergence.
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