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1. WO2007100296 - SIGNAL DE COMMANDE POUR ACIONNEUR A INERTIE

Numéro de publication WO/2007/100296
Date de publication 07.09.2007
N° de la demande internationale PCT/SE2007/000204
Date du dépôt international 02.03.2007
CIB
H01L 41/09 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
08Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
09à entrée électrique et sortie mécanique
B25J 7/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
7Micromanipulateurs
G01Q 10/04 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
10Dispositions pour le balayage ou le positionnement, c. à d. dispositions pour commander de manière active le mouvement ou la position de la sonde
04Balayage ou positionnement fin
CPC
G01Q 10/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
10Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
04Fine scanning or positioning
H01J 2237/20221
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
202Movement
20221Translation
H01J 2237/20264
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
202Movement
20264Piezoelectric devices
H01J 2237/26
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
26Electron or ion microscopes
H02N 2/025
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction
02producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; ; Linear motors
021using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
025Inertial sliding motors
H02N 2/067
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction
02producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; ; Linear motors
06Drive circuits; Control arrangements ; or methods
065Large signal circuits, e.g. final stages
067generating drive pulses
Déposants
  • NANOFACTORY INSTRUMENTS AB [SE]/[SE] (AllExceptUS)
  • BENGTSSON, Paul [SE]/[SE] (UsOnly)
  • SVENSSON, Krister [SE]/[SE] (UsOnly)
  • OLIN, Håkan [SE]/[SR] (UsOnly)
  • VON DORRIEN, Mikael [SE]/[SE] (UsOnly)
Inventeurs
  • BENGTSSON, Paul
  • SVENSSON, Krister
  • OLIN, Håkan
  • VON DORRIEN, Mikael
Mandataires
  • VALEA AB
Données relatives à la priorité
0600455-002.03.2006SE
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) CONTROL SIGNAL FOR INERTIAL SLIDER
(FR) SIGNAL DE COMMANDE POUR ACIONNEUR A INERTIE
Abrégé
(EN)
The present invention relates to an inertial slider (10) and a method for safely and controllably approach an object (2) towards a fixed object (3) for instance inside a transmission electron microscope (101). The inertial slider is controlled with a control signal (201) with a timing characteristic faster than a mechanical resonance of the object to be moved. The inertial slider moves in a first step away from the fixed object and the movable object is moved relative the inertial slider in that first step.
(FR)
La présente invention concerne un actionneur à inertie (10) et une méthode pour approcher en toute sécurité et de manière contrôlée un objet (2) d'un objet fixe (3) par exemple dans le cas d'un microscope électronique à transmission (101). L'actionneur à inertie est commandé par un signal de commande (201) présentant une réponse temporelle plus rapide que la résonance mécanique de l'objet à déplacer. Dans un premier temps, l'actionneur à inertie s'éloigne de l'objet fixe et l'objet mobile est déplacé relativement à l'actionneur à inertie.
Également publié en tant que
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