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1. WO2007098237 - PROCEDE ET APPAREIL DE CARACTERISATION D'UN EMBOUT DE SONDE

Numéro de publication WO/2007/098237
Date de publication 30.08.2007
N° de la demande internationale PCT/US2007/004574
Date du dépôt international 20.02.2007
CIB
G01Q 10/00 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
10Dispositions pour le balayage ou le positionnement, c. à d. dispositions pour commander de manière active le mouvement ou la position de la sonde
G01Q 40/00 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
40Étalonnage, p.ex. des sondes
G01Q 40/02 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
40Étalonnage, p.ex. des sondes
02Leurs normes d'étalonnage ou procédés de fabrication
G01Q 60/38 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
60Types particuliers de microscopie à sonde à balayage SPM ou appareils à cet effet; Composants essentiels de ceux-ci
24Microscopie à forces atomiques AFM ou appareils à cet effet, p.ex. sondes AFM
38Sondes, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, p.ex. supports
CPC
G01Q 40/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
40Calibration, e.g. of probes
G01Q 40/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
40Calibration, e.g. of probes
02Calibration standards and methods of fabrication thereof
G01Q 60/38
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
60Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
24AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
38Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
Déposants
  • VEECO INSTRUMENTS INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • DAHLEN, Gregory, A. [US]/[US] (UsOnly)
  • LIU, Hao-chih [CN]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • DAHLEN, Gregory, A.
  • LIU, Hao-chih
Mandataires
  • NEWHOLM, Timothy, E.
Données relatives à la priorité
60/743,32120.02.2006US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR CHARACTERIZING A PROBE TIP
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE CARACTERISATION D'UN EMBOUT DE SONDE
Abrégé
(EN)
A method and apparatus are provided of characterizing a re-entrant SPM probe tip (30) through a single scan of a characterizer, thus dramatically increasing throughput, accuracy, and repeatability when compared to prior known tip characterization techniques. The characterizer also preferably is one whose dimensions can be known with a high level of certainty in order to maximize characterization accuracy. These dimensions are also preferably very stable or, if unstable, change catastrophically rather than in a manner that is difficult or impossible to detect. A carbon nanotube (CNT), preferably a single walled carbon nanotube (SWCNT), has been found to be well-suited for this purpose. Multi-walled carbon nanotubes (MWCNTs) (130) and other structures may also suffice for this purpose. Also provided are a method and apparatus for monitoring the integrity of a CNT.
(FR)
L'invention concerne un procédé et un appareil de caractérisation d'un embout (30) de sonde pour microscope en champ proche (SPM) par un seul balayage d'un dispositif de caractérisation, augmentant ainsi considérablement le débit, la précision et la répétabilité par comparaison aux techniques de caractérisation d'embouts connues auparavant. Le dispositif de caractérisation est également de préférence tel que ses dimensions peuvent être connues avec un haut degré de certitude afin de maximiser la précision de la caractérisation. Ces dimensions sont également de préférence très stables ou, si elles sont instables, varient brutalement plutôt que de manière difficile ou impossible à détecter. Un nanotube de carbone (CNT), de préférence un nanotube de carbone à paroi unique (SWCNT), s'est avéré bien adapté à cet effet. Des nanotube de carbone à parois multiples (MWCNT) (130) et d'autres structures peuvent également suffire à cet effet. L'invention concerne également un procédé et un appareil de contrôle de l'intégrité d'un CNT.
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