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PATENTSCOPE

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1. (WO2007051275) MICROSCOPE A BALAYAGE A NANO-JETS ET PROCEDE DE FONCTIONNEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/051275    N° de la demande internationale :    PCT/BY2006/000008
Date de publication : 10.05.2007 Date de dépôt international : 02.11.2006
CIB :
G01Q 60/00 (2010.01), G01Q 80/00 (2010.01)
Déposants : ILYANOK, Alexander Mikhailovich [BY/BY]; (BY).
TIMOSHCHENKO, Igor Andreevich [BY/BY]; (BY) (US Seulement)
Inventeurs : ILYANOK, Alexander Mikhailovich; (BY).
TIMOSHCHENKO, Igor Andreevich; (BY)
Données relatives à la priorité :
a20051058 02.11.2005 BY
Titre (EN) SCANNING NANOJET MICROSCOPE AND THE OPERATION METHOD THEREOF
(FR) MICROSCOPE A BALAYAGE A NANO-JETS ET PROCEDE DE FONCTIONNEMENT
(RU) СКАНИРУЮЩИЙ НАНОСТРУЙНЫЙ МИКРОСКОП И СПОСОБ ЕГО РАБОТЫ
Abrégé : front page image
(EN)The inventive scanning nanojet microscope comprises one or several nozzles for producing an agent scanning jet and a system for collecting a radiation obtained I n the area where the jet contacts an object. The nozzle is embodied in the form of an optical resonator made from a light-transparent capillary into which walls a narrow band light radiation is introduced by means of a lightguide. The capillary length is selected is such a way that it is multiple of the light radiation half-wavelength. The inventive method consists in producing a heterogeneous light pressure on the jet and in carrying out the object three-dimensional scanning, wherein the interruption of the light radiation interrupts the jet and the microscope resolving power is defined by the jet diameter. Said microscope can be used in a scanning jet lithography for controlling a production process in a real-time mode. The microscope makes it possible to non-destructively study dielectrical and biological objects devoide of a current-conducting coating and to monitor a living cell in a real-time scale.
(FR)L'invention concerne un microscope à balayage à nano-jets qui comprend une ou plusieurs buses destinées à former un jet de substance de balayage et un système de collecte du rayonnement formé dans la zone de contact du jet avec l'objet. La buse fonctionne comme un résonateur optique et se présente comme un capillaire transparent dans les parois duquel on a introduit au moyen d'un guide d'ondes un rayonnement optique à bande étroite. La longueur du capillaire est un multiple à la moitié de la longueur d'onde du rayonnement optique. On crée une pression lumineuse inégale agissant sur le jet. En cas d'interruption du rayonnement optique, le jet est également interrompu. La résolution du microscope est déterminée par le diamètre du jet. Le microscope peut s'utiliser dans la nano-lithographie à balayage à jets pour contrôler un processus technologique en temps réel. Au moyen de ce microscope on peut examiner des objets diélectriques et biologiques de façon non destructrice, sans devoir y appliquer un revêtement conducteur. Le microscope permet d'effectuer des observations d'une cellule vivante en temps réel.
(RU)Предложен сканирующий наноструйный микроскоп, содержащий одно или более сопел для создания сканирующей струи вещества и систему для сбора излучения, возникающего в зоне контакта струи с объектом. Сопло является оптическим резонатором и представляет собой оптически прозрачный капилляр, в стенки которого с помощью световода вводится узкополосное оптическое излучение. Длина капилляра выбирается кратной половине длины волны оптического излучения. Создается неоднородное световое давление на струю. Производится пространственное сканирование струей по объекту. При прерывании оптического излучения прерывается струя. Разрешение микроскопа определяется диаметром струи. Микроскоп можно использовать в сканирующей струйной нанолитографии для контроля технологического процесса в режиме реального времени. С помощью микроскопа можно исследовать диэлектрические и биологические объекты без их разрушения, не нанося на них токопроводящие покрытия. Микроскоп позволяет осуществить наблюдение за живой клеткой в реальном масштабе времени.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : russe (RU)
Langue de dépôt : russe (RU)