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1. (WO2007021214) PROCEDE DE SYNTHESE DE CERAMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/021214    N° de la demande internationale :    PCT/RU2005/000421
Date de publication : 22.02.2007 Date de dépôt international : 16.08.2005
CIB :
C04B 35/00 (2006.01), C04B 35/628 (2006.01)
Déposants : OTKRYTOE AKTSYONERNOE OBSHCHESTVO 'POLEMA' [RU/RU]; ul. Przhevalskogo, 3 Tula, 300016 (RU) (Tous Sauf US).
ABDUEV, Aslan Khajimuratovich [RU/RU]; (RU) (US Seulement).
ASVAROV, Abil Shamsudinovich [RU/RU]; (RU) (US Seulement).
AKHMEDOV, Akhmed Kadievich [RU/RU]; (RU) (US Seulement).
KAMILOV, Ibragimkhan Kamilovich [RU/RU]; (RU) (US Seulement)
Inventeurs : ABDUEV, Aslan Khajimuratovich; (RU).
ASVAROV, Abil Shamsudinovich; (RU).
AKHMEDOV, Akhmed Kadievich; (RU).
KAMILOV, Ibragimkhan Kamilovich; (RU)
Mandataire : OBSCHESTVO S OGRANICHENNOI OTVETSTVENNOSTIJU 'JURIDICHESKAYA FIRMA GORODISSKY I PARTNERY'; EGOROVA Galina B.Spasskaya ul., 25, str. 3 Moscow, 129010 (RU)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) CERAMIC SYNTHESIS METHOD
(FR) PROCEDE DE SYNTHESE DE CERAMIQUE
(RU) СПОСОБ СИНТЕЗА КЕРАМИКИ
Abrégé : front page image
(EN)The invention can be used for producing ceramic targets in the form of a material sources for magnetron, electron-beam, ion-beam and other film applying methods in micro-, opto- and nano-electronics. The aim of said invention is to reduce the doping level of ceramics by non-controllable impurities, to increase a ceramic material density and to improve performance characteristics of ceramic targets. The inventive method for synthesising a ceramic material doped by a low melting metal consists in pressing and sintering a component mixture, in which a doping additive is embodied in the form a low melting metal, in covering and moistening the surfaces of main component particles by the doping metal layer by rubbing the component mixture prior to pressing. The rubbing can be carried out at the low-melting material melting temperature. In a special case, for synthesising zinc oxide ceramic material, the mixture of zinc oxide powder with gallium is rubbed at a gallium melting point. The component mixture can contain a bore compound formed by bore oxide sintering in the form of a bonding agent and doping impurity.
(FR)La présente invention est destinée à être utilisée dans la production de cibles céramiques constituant une source de matériau pour des procédés magnétron, à faisceau d'électrons, à faisceau d'ions ainsi que pour d'autres procédés d'application de pellicules en micro-, opto- et nano-électronique. Cette invention vise à réduire le niveau de dopage de la céramique par des impuretés incontrôlables, à accroître la densité de la céramique et à améliorer les caractéristiques de performance des cibles céramiques. Ce procédé de synthèse de céramique dopée par un métal à faible point de fusion consiste à comprimer et à fritter un mélange de composants, un additif de dopage du mélange de composants se présentant sous la forme d'un métal à faible point de fusion, puis à recouvrir et à humidifier la surface de particules du composant principal au moyen de la couche de métal de dopage par frottement du mélange de composants jusqu'à la compression. Le frottement peut être effectué à la température de fusion du matériau à faible point de fusion. Dans un cas particulier, pour synthétiser une céramique d'oxyde de zinc, le mélange de poudre d'oxyde de zinc et de gallium est frotté à la température de point de fusion du gallium. Le mélange de composants peut contenir un composé du bore formé par frittage d'oxyde de bore sous la forme d'un agent de liaison et de dopage d'impuretés.
(RU)Изобретение предназначено для использования при изготовлении керамических мишеней, являющихся источником материала для магнетронного, электронно-лучевого, ионно-лучевого и других методов нанесения пленок в микро-, опто-, наноэлектронике. Целью предлагаемого изобретения является снижение уровня легирования керамики неконтролируемыми примесями, увеличение плотности керамики, улучшение эксплуатационных характеристик керамических мишеней. В способе синтеза керамики, легированной легкоплавким металлом, заключающимся в том, что смесь компонентов прессуют и спекают, в качестве легирующей добавки смесь компонентов содержит легкоплавкий металл и поверхность частиц основного компонента покрывают и смачивают до прессования слоем легирующего металла путем перетирания смеси компонентов. Перетирание можно осуществлять при температуре плавления легкоплавкого металла. В частном случае для синтеза керамики оксида цинка, легированного галлием, смесь порошка оксида цинка с галлием перетирают при температуре плавления галлия. Смесь компонентов в качестве связующего и легирующей примеси может содержать соединение бора, образующее при спекании оксид бора.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : russe (RU)
Langue de dépôt : russe (RU)