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1. (WO2007008677) MODULE DE PORT DE CHARGEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/008677    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/026543
Date de publication : 18.01.2007 Date de dépôt international : 10.07.2006
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    05.02.2007    
CIB :
B65G 1/00 (2006.01), C23F 1/00 (2006.01), H01L 21/607 (2006.01), C23C 16/00 (2006.01)
Déposants : BROOKS AUTOMATION, INC. [US/US]; 15 Elizabeth Drive Chelmsford, MA 01824 (US)
Inventeurs : HALL, Daniel, A.; (US).
SINDLEDECKER, Glenn, L.; (US).
COADY, Matthew, W.; (US).
TROLIO, Marcello; (US).
SPINAZOLA, Michael; (US)
Mandataire : GREEN, Clarence, A.; PERMAN & GREEN, LLP 425 Post Road Fairfield, CT 06824 (US)
Données relatives à la priorité :
11/178,836 11.07.2005 US
Titre (EN) LOAD PORT MODULE
(FR) MODULE DE PORT DE CHARGEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A substrate loading device having a frame (29); a cassette support (28), and a user interface (100). The frame is connected to a substrate processing apparatus (14). The frame has a transport opening (300) through which substrates are transported between the device and the processing apparatus. The cassette support is connected to the frame for holding at least one substrate holding cassette (T). The user interface is arranged for inputting information, and is mounted to the frame so that the user interface is integral with the frame.
(FR)L'invention concerne un dispositif de chargement de substrats présentant un bâti, un support de cassettes et une interface utilisateur. Le bâti est relié à un appareil de traitement de substrats. Le bâti présente une ouverture de transport à travers laquelle des substrats sont transportés entre le dispositif et l'appareil de traitement. Le support de cassettes est relié au bâti afin de retenir au moins une cassette porte-substrats. L'interface utilisateur est conçue pour l'entrée d'informations et est montée sur le bâti de sorte que l'interface utilisateur soit solidaire du le bâti.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)