WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2006049566) GENERATEUR DE DECHARGES ELECTRIQUE ET PROCEDE CORRESPONDANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/049566    N° de la demande internationale :    PCT/SE2005/001644
Date de publication : 11.05.2006 Date de dépôt international : 02.11.2005
CIB :
H01J 37/02 (2006.01), B23H 1/02 (2006.01), B23K 9/09 (2006.01), H05B 7/02 (2006.01), H05B 7/144 (2006.01)
Déposants : CHEMFILT IONSPUTTERING AB [SE/SE]; Diskettgatan 11C, S-583 35 Linköping (SE) (Tous Sauf US).
KOUZNETSOV, Vladimir [RU/SE]; (SE) (US Seulement).
ARVÉN-MAYER, Patrik [SE/SE]; (**) (US Seulement).
BÖHLMARK, Johan [SE/SE]; (**) (US Seulement).
JOHANSSON, Mats [SE/SE]; (**) (US Seulement).
CARLSSON, Johan [SE/SE]; (**) (US Seulement)
Inventeurs : KOUZNETSOV, Vladimir; (SE).
ARVÉN-MAYER, Patrik; (**).
BÖHLMARK, Johan; (**).
JOHANSSON, Mats; (**).
CARLSSON, Johan; (**)
Mandataire : LINDÉN, Stefan; Bergenstråhle & Lindvall AB, Box 17704, S-118 93 Stockholm (SE)
Données relatives à la priorité :
0402644-9 02.11.2004 SE
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING ELECTRIC DISCHARGES
(FR) GENERATEUR DE DECHARGES ELECTRIQUE ET PROCEDE CORRESPONDANT
Abrégé : front page image
(EN)In producing discharges in a load element such as a magnetron sputtering device, electric pulses are provided from different electric pulse sources, e.g. three or more electric pulse sources. The pulse sources are controlled by a control and monitoring unit to give the element electric pulses different heights and start and end times. The element electric pulses are summed, such as by connecting the pulse sources in parallel to the load, to form resulting, relatively long electric pulses. Each of the resulting electric pulses can have a portion that has a substantially constant level and then the substantially constant level is formed from at least two element electric pulses having the same pulse height. The resulting electric pulses are applied to electrodes in the load. The element electric pulses can have the same polarity such as being half a period of a sinusoid oscillation of a single frequency. Then the time intervals between starts of successive element electric pulses are relatively short such as not being not larger than one third of the period of the sinusoid. For example, the resulting electric pulses can have a substantially rectangular shape, a shape including two different substantially constant levels or have a substantially triangular shape.
(FR)La présente invention concerne la production de décharges dans une charge telle qu'un électro-pulvérisateur à magnétron, utilisant des impulsions électriques provenant d'au moins trois sources d'impulsions électriques. Ces sources sont régies par un contrôleur de façon à conférer aux impulsions électriques élémentaires différentes hauteurs et différents instants de début et de fin. Les impulsions électriques élémentaires sont cumulées, notamment en montant les sources d'impulsions en parallèle à la charge, de façon à obtenir des impulsions électrique résultantes relativement longues. Une partie de chacune des impulsions électriques résultantes peut présenter un niveau sensiblement constant, lequel niveau sensiblement constant est alors constitué d'au moins deux impulsions électriques de même hauteur. Les impulsions électriques résultantes que l'on applique aux électrodes de la charge peuvent être de même polarité, et notamment tenir une demie période d'oscillation sinusoïdale d'une mono-fréquence. En l'occurrence, les intervalles de temps entre débuts d'impulsions électriques consécutives sont relativement courts de façon à ne pas excéder un tiers de la période. Ainsi, les impulsions électriques résultantes peuvent être de forme sensiblement rectangulaire, d'une forme incluant deux niveaux différents sensiblement constants, ou d'une forme sensiblement triangulaire.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)