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1. (WO2006049153) FILM DE FLUOROCARBONE ET PROCÉDÉ SERVANT À PRODUIRE CELUI-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/049153    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/020082
Date de publication : 11.05.2006 Date de dépôt international : 01.11.2005
CIB :
C23C 14/12 (2006.01), C08J 7/12 (2006.01), C08L 101/00 (2006.01)
Déposants : ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8405 (JP) (Tous Sauf US).
TAMITSUJI, Chikaya [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIGASHI, Seiji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TATEMATSU, Shin [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OKI, Satoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TAMITSUJI, Chikaya; (JP).
HIGASHI, Seiji; (JP).
TATEMATSU, Shin; (JP).
OKI, Satoshi; (JP)
Mandataire : SENMYO, Kenji; Torimoto Kogyo Bldg. 38, Kanda-Higashimatsushitacho Chiyoda-ku, Tokyo 101-0042 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-319296 02.11.2004 JP
Titre (EN) FLUOROCARBON FILM AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
(FR) FILM DE FLUOROCARBONE ET PROCÉDÉ SERVANT À PRODUIRE CELUI-CI
(JA) フルオロカーボン膜およびその製造方法
Abrégé : front page image
(EN)This invention provides a process for producing a fluorocarbon film which can stably form a fluorocarbon film having excellent durability and functionality. The process for producing a fluorocarbon film at least a part of which is chemically bonded to a surface of a base material. The production process is characterized by conducting, in sequence, step (a) for applying plasma to a surface of a base material in a continuous or pulse manner to form active points on the surface of the base material and step (b) for applying plasma to the surface of the base material in a continuous or pulse manner in the presence of gas of a fluorocompound represented by general formula CxFy and/or CxFyOz under such conditions that active species are impacted against the surface of the base material at relatively lower collision energy than step (a).
(FR)Cette invention concerne un procédé servant à produire un film de fluorocarbone, lequel peut former de façon stable un film de fluorocarbone ayant d'excellentes durabilité et fonctionnalité. Le procédé sert à produire un film de fluorocarbone dont au moins une partie est liée chimiquement à une surface d'un matériau de base. Le procédé de production est caractérisé en ce qu'on effectue, l'une après l'autre, l'étape (a) servant à envoyer un plasma sur une surface d'un matériau de base d'une manière continue ou pulsée pour former des points actifs sur la surface du matériau de base et l'étape (b) servant à envoyer un plasma sur la surface du matériau de base d'une manière continue ou pulsée en présence d'un composé fluoré gazeux représenté par la formule générale CxFy et/ou CxFyOz dans des conditions telles que les espèces actives entrent en collision avec la surface du matériau de base avec une énergie de collision relativement plus faible que celle de l'étape (a).
(JA) 耐久性及び機能性に優れたフルオロカーボン膜を安定的に成膜することが可能なフルオロカーボン膜の製造方法を提供する。  本発明のフルオロカーボン膜の製造方法は、基材表面に少なくとも一部が化学結合したフルオロカーボン膜の製造方法において、基材表面に連続的又はパルス的にプラズマを照射し、基材表面に活性点を形成する工程(a)と、一般式C及び/又はCで表される含フッ素化合物ガスの存在下で、工程(a)よりも相対的に低い衝突エネルギーで活性種が基材表面に衝突する条件で、基材表面に連続的又はパルス的にプラズマを照射する工程(b)とを順次実施することを特徴とする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)