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1. (WO2006023489) COMPENSATION D'ERREUR CYCLIQUE DANS DES SYSTEMES D'INTERFEROMETRIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/023489    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/029104
Date de publication : 02.03.2006 Date de dépôt international : 15.08.2005
CIB :
G06F 11/00 (2006.01), H04L 1/00 (2006.01)
Déposants : ZYGO CORPORATION [US/US]; 21 Laurel Brook Road, Middlefield, CT 06455-0448 (US) (Tous Sauf US).
DEMAREST, Frank, C. [US/US]; (US) (US Seulement).
HILL, Henry, A. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : DEMAREST, Frank, C.; (US).
HILL, Henry, A.; (US)
Mandataire : FEIGENBAUM, David, L.; Fish & Richardson P.C., P.O. Box 1022, Minneapolis, MN 55440-1022 (US)
Données relatives à la priorité :
60/602,242 16.08.2004 US
11/060,173 17.02.2005 US
Titre (EN) CYCLIC ERROR COMPENSATION IN INTERFEROMETRY SYSTEMS
(FR) COMPENSATION D'ERREUR CYCLIQUE DANS DES SYSTEMES D'INTERFEROMETRIE
Abrégé : front page image
(EN)The invention features a method including: (i) providing an interference signal S(t) from two beams directed along different paths, wherein the signal S(t) is indicative of changes in an optical path difference n{tilde over (L)}(t) between the different paths, where n is an average refractive index along the different paths, {tilde over (L)}(t) is a total physical path difference between the different paths, and t is time; (ii) providing one or more coefficients representative of one or more errors that cause the signal S(t) to deviate from an ideal expression of the form A.sub.l cos(.omega..sub.Rt+.phi.(t)+.zeta..sub.l), where A.sub. l and.zeta..sub.l are constants,. omega.. sub.R is an angular frequency difference between the two beams before being directed along the different paths, and.phi.(t)=nk{tilde over (L)}(t), with k=2.pi./.lambda. and.lambda, equal to a wavelength for the beams; (iii) calculating a linear combination of values of the signal S(t); and (iv) reducing the effect of the deviation of S(t) from the ideal expression on an estimate of {tilde over (L)}(t) using an error signal generated from the coefficients and one or more error basis functions derived at least in part from the linear combination of values of the signal S(t).
(FR)La présente invention concerne un procédé qui consiste: (i) à fournir un signal d'interférence S(t) à partir de deux faisceaux dirigés le long de trajets différents, ce signal S(t) indiquant des modifications dans une différence de trajets optiquesnL (t) entre les différents trajets, (ii) à fournir un ou plusieurs coefficients représentatifs d'une ou de plusieurs erreurs entraînant la déviation du signalS (t) d'une expression idéale de la forme A1 cos (ORt + F(t)+ ?1 ), A1 et ?1 étant des constantes, OR est une différence de fréquences angulaires entre les deux faisceaux avant qu'ils soient dirigés le long des différents trajets, et F(t) = nkL(t), avec k = 2?/? et ? égal à une longueur d'onde des faisceaux, (iii) à calculer une combinaison linéaire des valeurs du signal S (t); et (iv) à réduire les effets de la déviation de S(t) de l'expression idéale sur une estimation de L(t) via l'utilisation d'un signal d'erreur généré à partir des coefficients et d'une ou de plusieurs fonctions de base d'erreur dérivées au moins en partie de la combinaison linéaire des valeurs du signal S(t).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)