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1. WO2006008412 - TEST DE L'ETANCHEITE DE MEMS OU DE PETITS COMPOSANTS ENCAPSULES

Numéro de publication WO/2006/008412
Date de publication 26.01.2006
N° de la demande internationale PCT/FR2005/050523
Date du dépôt international 29.06.2005
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 25.04.2006
CIB
G01L 21/12 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
21Indicateurs de vide
10en mesurant les variations de la conductivité calorifique du milieu dont on doit mesurer la pression
12Mesure des modifications de la résistance électrique des organes de mesure, p.ex. des filaments; Indicateurs de vide du type Pirani
G01M 3/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
MTEST D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES OU DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; TEST DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
3Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide
CPC
G01M 3/002
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Investigating fluid-tightness of structures
002by using thermal means
G01M 3/3281
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Investigating fluid-tightness of structures
02by using fluid or vacuum
26by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
32for containers, e.g. radiators
3281removably mounted in a test cell
Déposants
  • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE [FR]/[FR] (AllExceptUS)
  • DE CRECY, François [FR]/[FR] (UsOnly)
  • DIEM, Bernard [FR]/[FR] (UsOnly)
Inventeurs
  • DE CRECY, François
  • DIEM, Bernard
Mandataires
  • LEHU, Jean
Données relatives à la priorité
045137030.06.2004FR
Langue de publication français (FR)
Langue de dépôt français (FR)
États désignés
Titre
(EN) TIGHTNESS TEST FOR MEMS OR FOR SMALL ENCAPSULATED COMPONENTS
(FR) TEST DE L'ETANCHEITE DE MEMS OU DE PETITS COMPOSANTS ENCAPSULES
Abrégé
(EN)
The invention relates to a method for testing the tightness of a MEMS or of a small encapsulated component, the MEMS or small component being mounted in a cavity of a support. Said cavity is closed by sealing means and contains a gas having a density different than that if it were at the pressure of the medium outside of the cavity. The method comprises a step for measuring the density of the gas contained inside the cavity.
(FR)
L'invention concerne un procédé de test de l'étanchéité d'un MEMS ou d'un petit composant encapsulé, le MEMS ou le petit composant étant logé dans une cavité d'un support, la cavité étant fermée par des moyens d'étanchéité et contenant un gaz à une masse volumique différente de celle qu'il aurait s'il était à la pression du milieu extérieur à la cavité. Le procédé comprend une étape de mesure de la masse volumique du gaz contenu dans la cavité.
Également publié en tant que
US2007234782
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