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1. (WO2005064598) PROCEDE PERMETTANT DE REMPLIR DES PORTIONS CONCAVES DANS UN MOTIF CONCAVE/CONVEXE ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN SUPPORT D'ENREGISTREMENT MAGNETIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/064598 N° de la demande internationale : PCT/JP2004/019109
Date de publication : 14.07.2005 Date de dépôt international : 21.12.2004
CIB :
G11B 5/855 (2006.01)
G PHYSIQUE
11
ENREGISTREMENT DE L'INFORMATION
B
ENREGISTREMENT DE L'INFORMATION BASÉ SUR UN MOUVEMENT RELATIF ENTRE LE SUPPORT D'ENREGISTREMENT ET LE TRANSDUCTEUR
5
Enregistrement par magnétisation ou démagnétisation d'un support d'enregistrement; Reproduction par des moyens magnétiques; Supports d'enregistrement correspondants
84
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication de supports d'enregistrement
855
Revêtement d'une partie seulement d'un support avec une couche magnétique
Déposants :
TDK株式会社 TDK CORPORATION [JP/JP]; 〒1038272 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 Tokyo 1-13-1, Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo 1038272, JP (AllExceptUS)
諏訪 孝裕 SUWA, Takahiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
服部 一博 HATTORI, Kazuhiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
大川 秀一 OKAWA, Shuichi [JP/JP]; JP (UsOnly)
日比 幹晴 HIBI, Mikiharu [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs :
諏訪 孝裕 SUWA, Takahiro; JP
服部 一博 HATTORI, Kazuhiro; JP
大川 秀一 OKAWA, Shuichi; JP
日比 幹晴 HIBI, Mikiharu; JP
Mandataire :
松山 圭佑 MATSUYAMA, Keisuke; 〒1510053 東京都渋谷区代々木二丁目10番12号 南新宿ビル Tokyo Minami-Shinjuku Bldg., 10-12, Yoyogi 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1510053, JP
Données relatives à la priorité :
2003-43043525.12.2003JP
Titre (EN) METHOD FOR FILLING CONCAVE PORTIONS IN CONCAVE/CONVEX PATTERN AND MAGNETIC RECORDING MEDIUM MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCEDE PERMETTANT DE REMPLIR DES PORTIONS CONCAVES DANS UN MOTIF CONCAVE/CONVEXE ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN SUPPORT D'ENREGISTREMENT MAGNETIQUE
(JA) 凹凸パターンの凹部充填方法及び磁気記録媒体の製造方法
Abrégé :
(EN) There are provided a method for filling concave portions in a concave/convex pattern capable of effectively filling the concave portions in the concave/convex pattern and surely flattening the surface and a magnetic recording medium manufacturing method capable of effectively manufacturing a magnetic recording medium having a magnetic recording layer of concave/convex pattern and having a sufficiently flat surface. On the surface of a work (10) having a concave/convex pattern, a film of filling material (36) is formed for filling the concave portions (34). Further, on the filling material (36), a film of coating material (42) is formed. By using the dry etching method having an etching rate for the coating material (42) lower than the etching rate for the filling material (36), a surplus of the filling material (36) and the coating material (42) is removed from the surface of the magnetic recording layer (32), thereby making the surface flat.
(FR) La présente invention concerne un procédé permettant de remplir efficacement des portions concaves dans un motif concave/convexe et d'aplatir convenablement la surface. L'invention concerne également un procédé de fabrication de support d'enregistrement magnétique permettant de fabriquer efficacement un support d'enregistrement magnétique doté d'une couche d'enregistrement présentant un motif concave/convexe et une surface suffisamment plate. Sur la surface d'une pièce à usiner (10) présentant un motif concave/convexe, un film d'un matériau de remplissage (36) est formé de manière à remplir les portions concave (34). En outre, un film d'un matériau d'enrobage (42) est formé sur le matériau de remplissage (36). L'utilisation d'un procédé de gravure au plasma présentant un taux de gravure destiné au matériau d'enrobage (42) inférieur au taux de gravure destiné au matériau de remplissage (36) permet de retirer un surplus de matériau de remplissage (36) ainsi que le matériau d'enrobage (42) de la surface de la couche d'enregistrement magnétique (32), ce qui permet d'obtenir une surface plate.
(JA)  効率良く、凹凸パターンの凹部を充填し表面を確実に平坦化することができる凹凸パターンの凹部充填方法及び凹凸パターンの磁気記録層を有し、表面が充分に平坦な磁気記録媒体を効率良く製造することができる磁気記録媒体の製造方法を提供する。凹凸パターンが形成された被加工体10の表面に凹部34を充填するための充填材36を成膜し、更に充填材36上に被覆材42を成膜してから、充填材36に対するエッチングレートよりも被覆材42に対するエッチングレートが低いドライエッチング法により磁気記録層32上の余剰の充填材36及び被覆材42を除去して平坦化する。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Japonais (JA)
Langue de dépôt : Japonais (JA)
Également publié sous:
JP2006318648JPWO2005064598US20050199581JP3881370CN1742323