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1. (WO2005061378) MATERIEL ET PROCEDE PERMETTANT DE FORMER UNE GRAVURE INCLINEE PERSONNALISEE DANS UN SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2005/061378    International Application No.:    PCT/US2004/041864
Publication Date: 7 juil. 2005 International Filing Date: 14 déc. 2004
IPC: B01D 46/10
B01D 46/52
B81C 1/00
H01L 21/768
Applicants: HONEYWELL INTERNATIONAL INC.
YOUNGNER, Dan, W.
STARZYNSKI, John, S.
DETRY, James, F.
Inventors: YOUNGNER, Dan, W.
STARZYNSKI, John, S.
DETRY, James, F.
Title: MATERIEL ET PROCEDE PERMETTANT DE FORMER UNE GRAVURE INCLINEE PERSONNALISEE DANS UN SUBSTRAT
Abstract:
La présente invention se rapporte à du matériel et à des procédés permettant de générer une gravure inclinée personnalisée dans un substrat. Un procédé exemplaire peut comprendre les étapes consistant à fournir un substrat possédant une surface destinée à être gravée, à fournir une couche de contrôle sur la surface dudit substrat, à former un masque par-dessus la couche de contrôle, puis à graver sélectivement la couche de contrôle et le substrat à des vitesses variables, afin de former une gravure inclinée dans le substrat.