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Paramétrages

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1. WO2005008850 - LOCALISATION DE DEFAUTS AU LASER TEMPORELLE ET SPATIALE SELECTIVE

Numéro de publication WO/2005/008850
Date de publication 27.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/022531
Date du dépôt international 12.07.2004
CIB
G01R 31/26 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31Dispositions pour tester les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour tests électriques caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
26Test de dispositifs individuels à semi-conducteurs
G01R 31/302 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31Dispositions pour tester les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour tests électriques caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
28Test de circuits électroniques, p.ex. à l'aide d'un traceur de signaux
302Test sans contact
G03C 5/00 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
CMATÉRIAUX PHOTOSENSIBLES POUR LA PHOTOGRAPHIE; PROCÉDÉS PHOTOGRAPHIQUES, p.ex. PROCÉDÉS CINÉMATOGRAPHIQUES, AUX RAYONS X, EN COULEURS OU STÉRÉOPHOTOGRAPHIQUES; PROCÉDÉS AUXILIAIRES EN PHOTOGRAPHIE
5Procédés photographiques ou agents à cet effet; Régénération de tels agents de traitement
G06F 17/50 2006.01
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
FTRAITEMENT ÉLECTRIQUE DE DONNÉES NUMÉRIQUES
17Équipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des fonctions spécifiques
50Conception assistée par ordinateur
G21K 5/10 2006.01
GPHYSIQUE
21PHYSIQUE NUCLÉAIRE; TECHNIQUE NUCLÉAIRE
KTECHNIQUES NON PRÉVUES AILLEURS POUR MANIPULER DES PARTICULES OU DES RAYONNEMENTS IONISANTS; DISPOSITIFS D'IRRADIATION; MICROSCOPES À RAYONS GAMMA OU À RAYONS X
5Dispositifs d'irradiation
10pourvus de dispositions permettant un mouvement relatif entre la source du rayonnement et l'objet à irradier
H01J 37/08 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
04Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
08Sources d'ions; Canons à ions
CPC
G01R 31/311
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
302Contactless testing
308using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
311of integrated circuits
G01R 31/31816
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
317Testing of digital circuits
3181Functional testing
31816Soft error testing; Soft error rate evaluation; Single event testing
Déposants
  • CREDENCE SYSTEMS CORPORATION [US/US]; 1421 California Circle Milpitas, California 95035, US (AllExceptUS)
  • PERDU, Phillippe [FR/FR]; FR (UsOnly)
  • DESPLATS, Romain [FR/FR]; FR (UsOnly)
  • BEAUDOIN, Felix [CA/FR]; FR (UsOnly)
  • VEDAGARBHA, Praveen [IN/US]; US (UsOnly)
  • LEIBOWITZ, Martin [US/US]; US (UsOnly)
  • WILSHER, Kenneth, R. [GB/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • PERDU, Phillippe; FR
  • DESPLATS, Romain; FR
  • BEAUDOIN, Felix; FR
  • VEDAGARBHA, Praveen; US
  • LEIBOWITZ, Martin; US
  • WILSHER, Kenneth, R.; US
Mandataires
  • DURBIN, Gregory ; Dorsey & Whitney LLP 370 Seventeenth Street, Suite 4700 Denver, CO 80202, US
Données relatives à la priorité
10/888,84009.07.2004US
60/486,49011.07.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SPATIAL AND TEMPORAL SELECTIVE LASER ASSISTED FAULT LOCALIZATION
(FR) LOCALISATION DE DEFAUTS AU LASER TEMPORELLE ET SPATIALE SELECTIVE
Abrégé
(EN)
A method and apparatus (Figure 1) for laser-assisted fault mapping synchronizes laser control (11) whith tester unit (6). The inventive method provides for laser-assisted pseudo-static fault mapping to localize defects in a device (2) whose inputs (4) are being stimulated dynamically by a tester unit. It further provides for laser-assisted dynamic soft error mapping, to localize in terms of location and to correlate with respect to a specific test vector, sensitive areas in a device by utilizing device performance criteria such as pass-fail status outputs. The apparatus includes a fully controllable dynamic laser stimulation apparatus (8) connected to the control unit that provides complete synchronization with a tester unit.
(FR)
L'invention concerne un procédé et un appareil de mappage de défauts au laser, permettant de synchroniser la commande laser et l'appareil testeur. Le procédé de l'invention consiste en un mappage au laser pseudo-statique des défauts pour localiser les défauts dans un dispositif dont les entrées sont simulées dynamiquement par un appareil testeur. Il consiste également en un mappage au laser dynamique des erreurs non systématiques, permettant la localisation en termes d'emplacements et la corrélation par rapport à un vecteur d'essai spécifique, des zones sensibles d'un dispositif au moyen de critères de performance des dispositifs, tels que les sorties d'état réussi ou échoué. Cet appareil comporte un appareil de stimulation laser dynamique à commande intégrale connecté à une unité de commande assurant la synchronisation complète avec un appareil testeur.
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